[发明专利]热式流量计

权利要求书

1.一种热式流量计，其具备取入被测量流体的通路和配置于所述通路内并对被测量流体的流量进行测量的传感器元件，所述传感器元件具有半导体基板、形成于所述半导体基板的空洞部和隔着电绝缘膜形成于所述空洞部上的发热电阻体，在所述热式流量计中，通过从所述发热电阻体向被测量流体散热而测量被测量流体的流量，

所述热式流量计的特征在于，

当将与被测量流体的流动方向垂直的垂直方向上的所述发热电阻体的长度设为Lh，将被测量流体的流动方向上的从所述发热电阻体的上游侧端部至所述空洞部的周缘的最接近距离设为Wd时，Lh与Wd的关系为Wd≥0.4Lh。

2.根据权利要求1所述的热式流量计，其特征在于，

Lh与Wd的关系为Wd≥0.5Lh。

3.根据权利要求1所述的热式流量计，其特征在于，

当将与被测量流体的流动方向垂直的垂直方向上的从所述发热电阻体的端部至所述空洞部的周缘的最接近距离设为Ld时，Lh与Ld的关系为Ld≥0.4Lh。

4.根据权利要求3所述的热式流量计，其特征在于，

Lh与Wd及Ld的关系为Wd≥0.5Lh且Ld≥0.5Lh。

5.根据权利要求1所述的热式流量计，其特征在于，

Wd与Ld的关系为Ld≥Wd。

6.根据权利要求1所述的热式流量计，其特征在于，

具备在所述发热电阻体的上游侧和下游侧分别形成的测温电阻体，与被测量流体的流动方向垂直的垂直方向上的所述测温电阻体的长度为与被测量流体的流动方向垂直的垂直方向上的所述发热电阻体的长度以下。

7.根据权利要求1所述的热式流量计，其特征在于，

所述空洞部形成为长方形，该长方形具有沿被测量流体的流动方向形成的短边和与所述短边垂直的长边，所述发热电阻体具有沿所述长边的方向延伸设置，且在延伸设置方向的端部折回而在所述电绝缘膜上平行排列的多个电阻体部分，所述电阻体部分的延伸设置方向上的长度大于平行排列的所述多个电阻体部分的总宽度。

8.根据权利要求1所述的热式流量计，其特征在于，

以所述发热电阻体的加热温度比被测量流体的温度高200℃以上的方式进行加热控制。

9.一种热式流量计，其特征在于，具备：

取入被测量流体的通路；

配置于所述通路内并对被测量流体的流量进行测量的传感器元件，

所述传感器元件具有半导体基板、形成于所述半导体基板的空洞部、隔着电绝缘膜形成于所述空洞部上的发热电阻体、以设置于被测量流体的流动方向上的所述发热电阻体的上游侧和下游侧且位于所述空洞部上的方式形成于所述电绝缘膜上的测温电阻体，

所述空洞部形成为长方形，该长方形具有沿被测量流体的流动方向形成的短边和与所述短边垂直的长边，

所述发热电阻体具有沿所述长边的方向延伸设置，且在延伸设置方向的端部折回而在所述电绝缘膜上平行排列的多个电阻体部分，所述电阻体部分的延伸设置方向上的长度大于平行排列的所述多个电阻体部分的总宽度，

所述测温电阻体的与被测量流体的流动方向垂直的垂直方向上的长度形成为所述发热电阻体的与被测量流体的流动方向垂直的垂直方向上的长度以下，

当将与被测量流体的流动方向垂直的垂直方向上的所述发热电阻体的长度设为Lh，将被测量流体的流动方向上的从所述发热电阻体的上游侧端部至所述空洞部的周缘的最接近距离设为Wd，将与被测量流体的流动方向垂直的垂直方向上的从所述发热电阻体的端部至所述空洞部的周缘的最接近距离设为Ld时，Lh与Wd的关系为Wd≥0.4Lh，Lh与Ld的关系为Ld≥0.4Lh。