[发明专利]电子器件试验装置

权利要求书

1.一种电子器件试验装置，其特征在于，具有：

多个测试单元，分别安装有被连接在向被试验电子器件输出测试信号并检查其应答信号的测试器上的测试头；

搬入移载单元，被设置在上述多个测试单元中的最前级，在上述多个被试验电子器件被搬入上述测试单元之前将上述多个被试验电子器件从搬运媒介向测试托盘进行移载；以及

搬出移载单元，被设置在上述多个测试单元中的最后级，将上述多个被试验电子器件从上述测试托盘向与试验结果对应的后工序的搬运媒介进行移载；以及

搬送单元，设置在上述多个测试单元之间，从前级的测试单元向后级的测试单元搬送上述测试托盘，并且具有可保留多个测试托盘的缓冲部，以吸收在前级的测试单元与后级的测试单元之间产生的处理能力的差异造成的等待时间。

2.根据权利要求1所记载的电子器件试验装置，其特征在于：

上述搬入移载单元和上述搬出移载单元作为同时持有上述搬入移载单元和上述搬出移载单元各自的功能的一个搬入搬出移载单元构成，

上述搬入搬出移载单元切换在上述多个被试验电子器件被搬入上述测试单元之前从前工序的搬运媒介向测试托盘进行移载的功能、和

将上述多个被试验电子器件从测试托盘向后工序的搬运媒介进行移载的功能。

3.根据权利要求1所记载的电子器件试验装置，其特征在于：

将被试验电子器件向上述测试托盘的搭载数设为上述多个测试单元之中、最小处理能力的测试单元中的处理个数。

4.根据权利要求1所记载的电子器件试验装置，其特征在于：

在同时测定能力较高的测试单元中使用多个上述测试托盘来进行试验。

5.根据权利要求4所记载的电子器件试验装置，其特征在于：

在同时测定能力较高的测试单元中并列搬送上述多个测试托盘来进行试验。

6.根据权利要求1所记载的电子器件试验装置，其特征在于：

在上述测试单元中的试验工序间的任一工序中，将所搭载的被试验电子器件取出到工序外。

7.根据权利要求6所记载的电子器件试验装置，其特征在于，还具有：

取代从上述测试托盘取出的被试验电子器件而搭载其他被试验电子器件的中间移载单元。

8.根据权利要求6所记载的电子器件试验装置，其特征在于，还具有：

将从上述测试托盘取出的被试验电子器件向其他测试托盘进行移载的中间移载单元。

9.根据权利要求1所记载的电子器件试验装置，其特征在于：

上述测试单元包括对上述被试验电子器件施加热应力的恒温部、和除去被施加在被试验电子器件上的热应力的除热部。

10.根据权利要求1所记载的电子器件试验装置，其特征在于：

监视上述多个测试单元、上述搬入移载单元、上述搬出移载单元和上述搬送单元的工作状态，并基于此监视结果来选择分配被试验电子器件的测试单元。

11.根据权利要求1所记载的电子器件试验装置，其特征在于：

监视上述多个测试单元、上述搬入移载单元、上述搬出移载单元和上述搬送单元的工作状态，并基于此监视结果使分配给各试验工序的测试单元个数变化。

12.根据权利要求1所记载的电子器件试验装置，其特征在于：

监视上述多个测试单元、上述搬入移载单元、上述搬出移载单元和上述搬送单元的工作状态，并基于此监视结果使上述搬入移载单元和上述搬出移载单元的台数比例变化。

13.根据权利要求1所记载的电子器件试验装置，其特征在于，还具有：

装卸模块和测试模块，

上述装卸模块具有上述搬入移载单元和上述搬出移载单元的功能，

上述测试模块包含上述测试单元，

上述装卸模块和测试模块以可分离及连接的方式形成。

14.根据权利要求13所记载的电子器件试验装置，其特征在于：

上述装卸模块包含保存上述搬运媒介的储料器单元。

15.根据权利要求1所记载的电子器件试验装置，其特征在于：

上述测试托盘具有存储介质，并且保持要搭载的电子器件的信息、各工序中的必要信息。