[发明专利]半导体激光模块及抑制构件

说明书

技术领域

本发明涉及一种可通过抑制光轴的错位而抑制锁定波长的变动的半导体激光模块及抑制构件。

背景技术

半导体激光模块具备：半导体激光元件、聚光透镜、监控输出光的光检测器、帕尔贴(ペルチユ)元件等温度控制元件、隔离器(アイソレ一タ)等许多构成部件。该半导体激光模块由聚光透镜对来自半导体激光元件的输出光进行聚光使其为平行光后，经由隔离器导入光纤，在光纤内进行导波并供所期望的用途。

在此，在半导体激光模块中，为了通过许多的构成部件形成自半导体激光元件至光纤的光路径，而需要精密地调整光轴特别是聚光透镜和隔离器之间的光轴。若在此产生光轴错位，则例如由聚光透镜射出的光被隔离器的一部分拒绝，造成光的耦合效率降低，因此，将保持聚光透镜的透镜支架及隔离器固定配置于共用的固定构件上(参照专利文献1)。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2001-194563号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

列举光轴错位的影响的一例，在半导体激光模块中，在自聚光透镜至光纤的光轴上设置有束分离器，通过该束分离器使激光的一部分分路，对该分路后的光通过校准器等波长滤波器进行滤波，且由光检测器监视滤波后的波长的光输出，进行波长锁定(ロツク)控制(参照专利文献1)。

在此，若自束分离器至校准器的光轴发生错位，则不能高精度地进行波长锁定控制。特别是配置于半导体激光模块的底部的作为温度控制元件的帕尔贴元件，由于在帕尔贴元件自体的上部和下部产生温度差，所以在水平方向发生翘曲，因该翘曲而发生监控光轴的光轴错位。该情况下，即使将束分离器及校准器配置于共用的固定构件上，也会产生因帕尔贴元件和固定构件的线膨胀系数的不同而引起的翘曲，或者产生因固定构件的温度分布而产生的翘曲，另外，在固定构件通过由多个材料构成的层构成的情况下，产生因各层的线膨胀系数之差而引起的翘曲，其结果是，发生大的光轴错位。另外，在该光轴错位为束分离器的反射光的光轴的情况下，束分离器的错位角度作为保持2倍的错位角度的光轴错位而出现。

图11是表示将光轴与校准器输入面垂直的状态时的将光轴角度设为0°的情况的相对于光轴角度的波长偏移量的关系的图。图11中，在光轴角度小的情况下未表示大的波长偏移量，但是，随着光轴角度变大，波长偏移量超出比例关系而增大。例如，校准器的初始角度为1.4°时的波长偏移量为-200pm，若产生0.2°的角度错位，则作为高达100pm的波长偏移量的错位而出现，不能进行允许范围内的波长锁定控制。

因此，本发明是鉴于上述情况而设立的，其目的在于提供一种半导体激光模块及抑制构件，可抑制配置于温度控制元件上的固定构件的翘曲，且抑制在配置于固定构件上部的光学元件间形成的光路的光轴的错位。

用于解决课题的手段

为解决上述课题且实现上述目的，本发提供一种半导体激光模块，在温度控制元件的上部隔着至少一个基台配置有进行光耦合的多个光学元件，其特征在于，为了抑制所述至少一个基台的与温度变化相伴的变形，在所述至少一个基台的变形部分的至少一部分上配置有抑制构件，所述抑制构件为了抑制所述至少一个基台的变形而具有补偿所述至少一个基台的线膨胀系数的大小的线膨胀系数。

另外，本发明的半导体激光模块的特征在于，在上述发明中，所述至少一个基台包含：搭载半导体激光元件的第一基台、和搭载至少一个所述光学元件且装载于所述第一基台上的第二基台，在所述第一基台及/或所述第二基台的表面配置有所述抑制构件。

另外，本发明的半导体激光模块的特征在于，在上述发明中，所述第一基台的线膨胀系数和所述第二基台的线膨胀系数的大小关系与所述第二基台的线膨胀系数和所述抑制构件的线膨胀系数的大小关系为相反的关系。

另外，本发明的半导体激光模块的特征在于，在上述发明中，所述第一基台的线膨胀系数和所述第一基台的层厚的乘法运算值与配置于所述第二基台上的所述抑制构件的所述线膨胀系数和该抑制构件的层厚的乘法运算值大致相等、或比其小。

另外，本发明的半导体激光模块的特征在于，在上述发明中，所述抑制构件配置于不存在所述光学元件的表面，采用抑制所述变形的形状。

另外，本发明的半导体激光模块的特征在于，在上述发明中，所述第二基台的固定光学元件的端部以单悬臂梁结构装载于所述第一基台上。