[发明专利]制造电子组装的方法和设备,采用该方法或在该设备中制造的电子组装有效
| 申请号: | 200980149976.2 | 申请日: | 2009-12-01 |
| 公开(公告)号: | CN102272909A | 公开(公告)日: | 2011-12-07 |
| 发明(设计)人: | 迈克尔·马克思·穆勒;荷尔弗里德·扎贝尔;汉斯·皮得·孟瑟 | 申请(专利权)人: | 米尔鲍尔股份公司 |
| 主分类号: | H01L21/60 | 分类号: | H01L21/60;G06K19/077;H01L21/98 |
| 代理公司: | 深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217 | 代理人: | 高占元 |
| 地址: | 德国9342*** | 国省代码: | 德国;DE |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 制造 电子 组装 方法 设备 采用 | ||
1.一种生产具有至少一个电子元件(B)和一个载体(T)的电子模块的方法,其特征在于,包括以下步骤:
(a)在所述载体(T)上提供适合于对准其上的电子元件(B)的结构(S),以便所述电子元件(B)可以相对于所述结构(S)占据希望的目标位置;
(b)这一结构(S)表面覆盖有材料(F)以形成液体的弯月面(M),所述液体的弯月面(M)至少部分适合于接收所述电子元件(B);
(c)在所述电子元件(B)的传送点(A)提供多个电子元件(B)的贮存;
(d)具有所述结构(S)的载体(T)至少移动至所述传送点(A)对面附近;
(e)在所述传送点(A)无接触地传送所述电子元件(B)中的一个,而所述载体(T)上的所述结构(S)在所述传送点(A)附近,以便在自由运动的阶段后所述电子元件(B)至少部分接触所述材料(F);以及
(f)具有所述结构(S)的所述载体(T)移动至下游处理点,而电子元件(B)使其自身与所述液体的弯月面(M)上的所述结构(S)对准,并占据它的目标位置。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,将具有多个载体(T)的输送带(TB)连续移动至所述电子元件(B)的传送点(A)对面附近并离开那里,每个所述多个载体(T)具有所述结构(S),或者输送带(TB)与多个载体(T)步调一致地移动至所述电子元件(B)的传送点(A)对面附近并离开那里,每个所述多个载体(T)具有所述结构(S)。
3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于,所述结构(S)
(a)通过将材料涂敷于所述载体(T)的表面或通过从所述载体(T)的表面移除材料在所述载体(T)上形成,和/或
(b)所述结构(S)的形状适应于所述电子元件(B)的轮廓,和/或
(c)在一维或多维空间中相对于所述结构的位置和/或在一个或多个方向上相对于所述结构的方位固定所述电子元件(B)的目标位置。
4.根据前述权利要求中一个权利要求所述的方法,其特征在于,以具有多个子结构的结构的形式在所述载体(T)上提供所述结构以在不同情况下形成液体的弯月面(M),每个所述子结构划定一区域。
5.根据前述权利要求中一个权利要求所述的方法,其特征在于,所述材料(F)
(a)以相对于结构中凸地形成液体的弯月面的形式,和/或以相对于结构中凸地形成液体的弯月面的量传送至结构,和/或
(b)在随后的处理中,必须至少部分从所述结构(S)移除,或者
(c)所述材料(F)是粘合剂,所述粘合剂至少部分保留在所述结构(S)和所述元件(B)之间,
(d)所述材料(F)是包含焊剂的焊料,必须熔化所述焊料。
6.根据前述权利要求所述的方法,其特征在于,所述材料(F)是包含焊剂和熔化的焊料,其中根据权利要求1所述在具有所述结构(S)的所述载体(T)到达下游处理点前,熔化所述包含焊剂的焊料形成液体的弯月面(M),以便与液体的弯月面(M)接触的电子元件(B)在所述结构(S)上对准其自身并且占据它的目标位置。
7.根据前述权利要求中一个权利要求所述的方法,其特征在于,所述电子元件(B)是具有金属连接接头(K1、K2、...Kn)的半导体芯片,所述金属连接接头(K1、K2、...Kn)排列在所述半导体芯片的一个侧面或两个相对的侧面上,从传送点(A)传送所述电子元件(B)以使得
(a)具有金属连接接头(K1、K2、...Kn)的侧面面对所述材料(F),以及没有连接接头(K1、K2、...Kn)的侧面背对所述材料(F),或者
(b)具有金属连接接头(K1、K2、...Kn)的侧面面对所述材料(F),以及具有金属连接接头(K1、K2、...Kn)的侧面背对所述材料(F),或者
(c)至少一个具有金属连接接头(K1、K2、...Kn)的侧面横向朝向所述材料(F)的表面。
8.根据前述权利要求中一个权利要求所述的方法,其特征在于,将所述多个电子元件(B)作为单独的半导体芯片供应给粘附于载体层(C)的传送点(A),这种情况下,所述单独的半导体芯片粘附于所述载体层(C)面对所述载体(T)的侧面。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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