[发明专利]半共振驱动系统及其方法

权利要求书

1.一种驱动系统，包括：

结构，其具有至少一个点以摩擦地耦合并沿至少两个方向中的一个驱动可移动元件，所述结构具有至少两种弯曲模式，所述弯曲模式各自具有不同共振频率；以及

振动系统，其施加在振动频率的两个或多个振动信号至所述结构的所述弯曲模式中的各种，所述振动频率基本上等于所述共振频率中的一种，其中在所述振动频率，所述结构的所述弯曲模式中的一种基本上以共振振动，并且所述结构的所述弯曲模式中的另一种以部分共振振动，所述振动系统调节所述两个或多个施加的振动信号之间的相移，以控制所述可移动元件沿所述至少两个方向中的哪个来移动。

2.根据权利要求1所述的系统，其中所述结构是不对称的。

3.根据权利要求1所述的系统，其中所述至少一个点基本上是所述结构的抗-节点。

4.根据权利要求1所述的系统，其中所述结构包括至少两个压电区域，所述压电区域被极化以建立特定极性，并且对称地位于所述结构中，以当所述振动系统施加所述两个或多个振动信号中的至少一个时，在所述结构中产生所述两种弯曲模式中的至少一种。

5.根据权利要求1所述的系统，其中所述结构包括至少四个压电区域，所述压电区域被极化以建立特定极性，并且对称地位于所述结构中，以当所述振动系统施加所述两个或多个振动信号时，在所述结构中产生所述至少两种弯曲模式。

6.根据权利要求5所述的系统，其中所述压电区域中的至少两个区域位于所述压电区域中的至少两个其他区域之间。

7.根据权利要求1所述的系统，其中所述结构包括：

两个或多个压电层；以及

两对或多对电极，所述电极中的各对耦合所述压电层中的一个或多个的相对侧。

8.根据权利要求1所述的系统，其中以部分共振振动的所述弯曲模式中的另一者沿基本上平行于所述至少两个方向中的各种的方向弯曲，所述结构可驱动所述可移动元件。

9.根据权利要求1所述的系统，其中以共振振动的所述弯曲模式中的一者沿基本上平行于所述至少两个方向中的各种的方向弯曲，所述结构可驱动所述可移动元件。

10.一种制造驱动系统的方法，所述方法包括：

提供结构，所述具有至少一个点以摩擦地耦合并沿至少两个方向中的一个驱动可移动元件，所述结构具有至少两种弯曲模式，所述弯曲模式各自具有不同共振频率；以及

使振动系统耦合所述结构的所述弯曲模式中的各种，所述振动系统施加在振动频率的两个或多个振动信号，所述振动频率基本上等于所述共振频率中的一种，其中在所述振动频率，所述结构的所述弯曲模式中的一种基本上以共振振动，并且所述结构的所述弯曲模式中的另一种以部分共振振动，所述振动系统调节所述两个或多个施加的振动信号之间的相移，以控制所述可移动元件沿所述至少两个方向中的哪个来移动。

11.根据权利要求10所述的方法，其中所述结构是不对称的。

12.根据权利要求10所述的方法，其中所述至少一个点基本上是所述结构的抗-节点。

13.根据权利要求10所述的方法，其中所述结构包括至少两个压电区域，所述压电区域被极化以建立特定极性，并且对称地位于所述结构中，以当所述振动系统施加所述两个或多个振动信号中的至少一个时，在所述结构中产生所述两种弯曲模式中的至少一种。

14.根据权利要求10所述的方法，其中所述结构包括至少四个压电区域，所述压电区域被极化以建立特定极性，并且对称地位于所述结构中，以当所述振动系统施加所述两个或多个振动信号时，在所述结构中产生所述至少两种模式。

15.根据权利要求14所述的方法，其中所述压电区域中的至少两个区域位于所述压电区域中的至少两个其他区域之间。

16.根据权利要求10所述的方法，其中所述提供结构还包括：

提供两个或多个压电层；以及

使所述两对或多对电极中的各种耦合所述压电层中的一个或多个的相对侧。

17.根据权利要求10所述的方法，其中以部分共振振动的所述弯曲模式中的另一者沿基本上平行于所述至少两个方向中的各种的方向弯曲，所述结构可驱动所述可移动元件。