[发明专利]衍射光栅、像差校正元件及光学头装置

权利要求书

1.一种衍射光栅，用于互不相同的波长λ₁、波长λ₂及波长λ₃的光，且具有以规定的周期交替设置在基板的至少一个面上的凸部和凹部，其中，

所述凸部的平均折射率小于所述凹部的平均折射率，

透过所述凸部和所述凹部的所述波长λ₁的光的相位差及透过所述凸部和所述凹部的所述波长λ₂的光的相位差都实质上为2π的整数倍，

透过所述凸部和所述凹部的所述波长λ₃的光的相位差实质上为2π的非整数倍。

2.根据权利要求1所述的衍射光栅，其中，

透过所述凸部和所述凹部的所述波长λ₁的光的相位差及透过所述凸部和所述凹部的所述波长λ₂的光的相位差都实质上为零。

3.根据权利要求1或2所述的衍射光栅，其中，

所述波长λ₃的光的一级衍射效率为4％以上。

4.一种衍射光栅，用于互不相同的波长λ₁、波长λ₂及波长λ₃的光，且具有以规定的周期交替设置在基板的至少一个面上的凸部和凹部，其中，

所述凸部的平均折射率小于所述凹部的平均折射率，

透过所述凸部和所述凹部的所述波长λ₁的光的相位差及透过所述凸部和所述凹部的所述波长λ₂的光的相位差都实质上为2π的非整数倍，

透过所述凸部和所述凹部的所述波长λ₃的光的相位差实质上为2π的整数倍。

5.根据权利要求4所述的衍射光栅，其中，

透过所述凸部和所述凹部的所述波长λ₃的光的相位差实质上为零。

6.根据权利要求4或5所述的衍射光栅，其中，

所述波长λ₁及所述波长λ₂的光的一级衍射效率为4％以上。

7.一种衍射光栅，用于互不相同的波长λ₁、波长λ₂及波长λ₃的光，且具有以规定的周期交替设置在基板的至少一个面上的凸部和凹部，其中，

所述凸部的平均折射率小于所述凹部的平均折射率，

设透过所述凸部和所述凹部的所述波长λ₁、所述波长λ₂及所述波长λ₃的光的相位差分别为a₁π、a₂π及a₃π时，

0≤|a₁-a₂|≤0.2

0.2＜|a₃-a₁|

0.2＜|a₃-a₂|

的关系成立。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的衍射光栅，其中，

所述凸部由以SiO₂为主要成分的材料形成，

所述凹部由以TiO₂为主要成分的材料或以Nb₂O₅为主要成分的材料或以Ta₂O₅为主要成分的材料形成。

9.根据权利要求1～7中任一项所述的衍射光栅，其中，

所述凸部由以SiO₂为主要成分的单层膜形成，

所述凹部由以SiO₂为主要成分的材料和以TiO₂为主要成分的材料交替层叠而成的多层膜形成，或者由以SiO₂为主要成分的材料和以Nb₂O₅为主要成分的材料交替层叠而成的多层膜形成，或者由以SiO₂为主要成分的材料和以Ta₂O₅为主要成分的材料交替层叠而成的多层膜形成。