[发明专利]玻璃基板再生装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种玻璃基板再生装置，其从液晶显示装置等所使用的彩色滤光器的制造工序中所产生的不良基板(未满足质量基准的基板)再生玻璃基板。

背景技术

图15是表示彩色液晶显示装置所使用的彩色滤光器的一例的剖面图。

彩色滤光器101具备有：玻璃基板2、形成于玻璃基板2上的黑阵列(BM)3、红色的着色像素(R像素)4R、绿色的着色像素(G像素)4G、蓝色的着色像素(B像素)4B(以下将RGB各像素总称为“着色像素4”)、ITO(铟锡氧化物，Indium Tin Oxide)等的透明电极5、光间隔片(PS)以及垂直取向部(VA)7。作为这种构造的彩色滤光器101的制造方法，已知光蚀刻法、印刷法以及喷墨法。

图16是表示光蚀刻法的各工序的流程图。

首先，将BM形成于玻璃基板上(S101)。接着，清洁玻璃基板(S102)，在玻璃基板上涂布RGB的任一种着色光阻剂，并进行预干燥(S103)，之后为了使基板上的着色光阻剂干燥、硬化，而进行预烘焙(S104)。然后，使用光掩模将基板上的着色光阻剂进行曝光(S105)，在进行显影处理后(S106)，使已图形化的着色光阻剂硬化(S107)。重复进行上述S102～S107的处理直到在玻璃基板上形成R、G、B3色像素为止(S108)。然后，在着色像素上形成透明电极膜后(S109)，在透明电极上形成PS、VA(S110)。经由以上的工序，而制造图15所示的彩色滤光器。

此外，关于对玻璃基板上的BM的形成，例如可采用如下的方法，将金属薄膜形成于玻璃基板上，在金属薄膜上涂布光阻剂后，利用光蚀刻法进行曝光、显影、蚀刻，而形成BM形状的图形。或者，采用如下的方法，将黑色的光阻剂涂布于玻璃基板上，再利用光蚀刻法将此黑色的光阻剂进行曝光及显影，而形成具有BM形状的图形(所谓的树脂BM)。

又，随着彩色滤光器用玻璃基板的大型化，而有回避采用由金属薄膜形成的BM的倾向。这是由于和使用铬等金属并利用真空装置形成金属薄膜相比，使用黑色的树脂光阻剂进行光蚀刻的方法在价格及环境两个方面更为有利。

虽然要求上述彩色滤光器具有高的可靠性，但是如图16所示，其制造需要经过很多工序，在这过程中可能产生灰尘或树脂渣等异物的附着或混入、针孔、图形欠缺等缺陷。发生这种缺陷的基板是不满足质量基准的不良基板，会降低合格率。又，随着近年来的大画面液晶电视的普及，彩色滤光器用玻璃基板发生大型化，厚度1mm以下且一边的长度长达1～2m的玻璃基板已经在使用。因为这种玻璃基板易破损，所以不良基板的废弃作业本身伴随着危险。

因此，人们寻求一种能够将不满足质量基准的不良基板再生为玻璃基板的玻璃基板再生装置。由玻璃基板再生装置所再生的玻璃基板能够再投入到制造工序中。

图17是表示彩色滤光器用玻璃基板的再生处理的流程图。

对在PS、VA形成工序以后所产生的不良基板(具有和图15的彩色滤光器一样的叠层构造)进行再生时，首先，依次进行第1碱性液处理(S201)、刷洗(S202)以及喷淋水洗(S203)，剥离位于玻璃基板的最上层的PS、VA膜。接着，进行酸性液处理(S204)及喷淋水洗(S205)，剥离中间层透明电极。然后，依次进行第2碱性液处理(S206)、刷洗(S207)以及喷淋水洗(S208)，并将玻璃基板表面的BM、R像素、G像素、B像素剥离。然后，利用刷洗(S209)除去微量地残留于玻璃基板上的清洁残渣，通过除去水分而使玻璃基板变成干燥(S210)。

图18是表示以往的玻璃基板再生装置的图。

玻璃基板再生装置90进行用以剥离不良基板1表面的树脂膜(PS、VA、BM以及着色像素)的碱性液处理(图17的S201、S206)，并具备有：储存槽91、泵92、喷嘴93、碱性液补充槽94、剥离液补充槽95以及回收盘96。

在储存槽91中，储存已预先调整了各自的成分及浓度的处理液，包含碱性液及剥离液。藉由泵92经由配管97向喷嘴93供给储存槽91内的处理液，并从喷嘴93向不良基板1排出该处理液。利用未图示的清洁刷，和处理液的排出并行地清洁不良基板的表面，并将PS、VA等树脂膜剥离。不良基板1一边藉由未图示的搬运装置以一定速度在规定方向上搬运，一边接受藉由处理液及清洁刷的剥离处理。

向不良基板1所排出的处理液及被剥离的树脂(例如PS、VA形成中所使用的树脂)从回收盘96经由配管100而回收到储存槽91中。所回收的树脂在储存槽91内沉淀后从配管102排出到外部。或者，亦可将过滤器设置于储存槽91内并使树脂分离。