[发明专利]显示装置及显示装置的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种具备半导体元件和随着该半导体元件的驱动而发光的发光元件的显示装置及显示装置的制造方法。

背景技术

显示装置包括半导体元件和随着该半导体元件的驱动而发光的发光元件而构成，通过控制发光元件的发光来显示规定的图像信息。正在推进使用例如有机场致发光(Electro Luminescence：以下称为EL)元件作为发光元件的显示装置的实用化(例如，参照专利文献1)。在使用有机EL元件的显示装置中，由有机EL元件、驱动该有机EL元件的晶体管(半导体元件)等构成各像素。

专利文献1：JP特开2005-346055号公报

由于有机EL元件不同于电压驱动元件即液晶显示元件，是根据从电源线提供的电流进行发光的电流驱动元件，所以在集成了多数有机EL元件的显示装置中，需要使非常大的驱动电流流过连接机EL元件和电源的电源线等布线。由于当流过驱动电流的布线的电阻值大时，电压降就会变大，所以需要提高驱动电压，结果会产生显示装置的耗电量增大的问题。因此，在现有技术中，通过扩宽连接到电源的布线或各元件中的电极等的宽度，并且使厚度非常厚，来实现从电源到有机EL元件的电流路径中的电阻值的降低。

但是，在实现布线或电极等的厚膜化的情况下，会因该厚膜化，而导致在形成于布线或电极等的上层上的层的上表面，产生较大的凹凸。因此，通常从形成有晶体管元件的基板的相反侧获取光的、被称为顶部发射型的有机EL元件的发光层会形成在产生了大的凹凸的层的上表面。使用例如溶液涂敷工艺或真空蒸镀法等成膜技术，在形成有布线或电极等的层的更上层形成上述顶部发射型的有机EL元件的发光层。其结果，在过去使用了溶液涂敷工艺的有机EL元件的成膜技术的情况下，与真空蒸镀法相比，明显受到凹凸的影响，无论有机EL元件的发光层是不是在同一像素内，也会以不均匀的膜厚形成。若发光层的膜厚不均匀，则即便是在同一像素内，也会受到膜厚发布的影响，从而有机EL元件的发光特性有较大的差异。因此，相对于同一驱动电流的像素内的发光亮度会变得不均匀，结果就存在引起显示装置的性能劣化的问题。

发明内容

因此，本发明鉴于上述问题而完成，其目的在于，提供一种在将布线电阻引起的电压降抑制得较小，并且提高同一像素内的元件膜厚的平坦性，且可减少同一像素内的发光特性的偏差的显示装置及显示装置的装置方法。

为了解决上述课题以实现其目的，本申请提供如下的发明。

[1]一种显示装置，其特征在于，包括：半导体元件，其包含栅电极、源电极、漏电极以及在上述源电极和上述漏电极之间形成的半导体膜；发光元件，其包含电极，且电连接在上述半导体元件上；基板，其设有上述半导体元件及上述发光元件；布线层，其按照与电源连接且从上述基板的厚度方向看时内含设有上述发光元件的区域的方式，形成在上述半导体元件、上述发光元件与上述基板之间；层间绝缘膜，其设置在上述半导体元件、上述发光元件与上述布线层之间，且形成有接触孔；以及接触内布线，其形成在上述接触孔内，并且对上述源电极、上述漏电极及上述发光元件的上述电极中的至少任一个电极和上述布线层进行电连接。

[2]在上述[1]所述的显示装置中，上述布线层由金属材料或氧化物导电材料构成。

[3]在上述[1]或[2]所述的显示装置中，上述半导体膜由无机氧化物半导体材料构成。

[4]在上述[1]或[2]所述的显示装置中，上述半导体膜由有机半导体材料构成。

[5]根据权利要求[1]～[4]的任一项所述的显示装置，上述发光元件是有机场致发光元件。

[6]根据权利要求[1]～[5]任一项所述的显示装置，从上述基板的厚度方向看时，上述布线层具有从设有上述发光元件的区域的整个周围向该区域的外方突出的突出区域。