[发明专利]电沉积线型工具及其制造方法有效

专利信息
申请号: 200980112780.6 申请日: 2009-04-08
公开(公告)号: CN101998894A 公开(公告)日: 2011-03-30
发明(设计)人: 风早克夫;松本宁;福西利夫;辻本宗裕;小川秀树;山中正明;福岛健二 申请(专利权)人: 联合材料公司
主分类号: B24B27/06 分类号: B24B27/06;B23Q3/06;B24D3/06;B24D11/00;H01L21/304
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 朱丹
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 沉积 线型 工具 及其 制造 方法
【权利要求书】:

1.一种电沉积线型工具,其具备:

磁性线状体(4)、和

在所述磁性线状体(4)的外周面被镀层(3)固定的、金属被覆的多个金属被覆磨粒(1),

所述金属被覆(2)包含无电解Ni-P镀层,所述无电解Ni-P镀层的至少一部分被结晶化。

2.如权利要求1所述的电沉积线型工具,其中,所述金属被覆(2)包含P的含量为4质量%以上的无电解Ni-P镀层,所述无电解Ni-P镀层的至少一部分被结晶化。

3.如权利要求2所述的电沉积线型工具,其中,所述无电解Ni-P镀层的P的含量为6质量%以上9质量%以下。

4.如权利要求2所述的电沉积线型工具,其中,所述金属被覆磨粒(1)包含金刚石,XRD(X-ray diffraction)分析的强度比Ni3P(231)/金刚石(111)为0.01以上0.3以下。

5.如权利要求2所述的电沉积线型工具,其中,从所述无电解Ni-P镀层的表面到所述金属被覆磨粒(1)存在的部分,粒径为10nm以上的结晶以平均1×107个/mm2以上6×109个/mm2以下存在。

6.如权利要求2所述的电沉积线型工具,其中,观察从所述无电解Ni-P镀层的表面到所述金属被覆磨粒(1)存在的部分的截面时,粒径10nm以上的结晶所占的比率在所述无电解镀层中为20%以上70%以下。

7.如权利要求1所述电沉积线型工具,其中,在所述磁性线状体(4)的外周面(41)所形成的所述镀敷层(3)为镍镀层。

8.如权利要求7所述的电沉积线型工具,其中,构成所述镍镀层的镍组织的平均粒径相对于所述镍镀层的厚度为0.0155倍以上1.000倍以下。

9.如权利要求7所述的电沉积线型工具,其中,所述镍镀层的S(硫)的平均含量为1质量%以下。

10.如权利要求7所述的电沉积线型工具,其中,所述镍镀层的S(硫)的平均含量为0atoms/cm3以上3.0×1018atoms/cm3以下。

11.如权利要求7所述的电沉积线型工具,其中,所述镍镀层的O(氧)的平均含量为0atoms/cm3以上2.0×1020atoms/cm3以下。

12.如权利要求7所述的电沉积线型工具,其中,在所述镍镀层中进行SIMS(Secondary Ion Mass Spectrometry)分析时的氢与Ni的二次离子平均强度比(氢平均强度/Ni平均强度)为0以上且不足2.8×10-2

13.如权利要求1所述的电沉积线型工具,其中,所述金属被覆磨粒(1)的粒径为5μm以上1000μm以下。

14.如权利要求7所述的电沉积线型工具,其中,在所述镍镀层及所述被金属被覆的磨粒(1)中,所述镍镀层的厚度/所述金属被覆磨粒的平均粒径的值为0.26以上0.8以下。

15.如权利要求1所述电沉积线型工具,其中,所述磁性线状体(4)是进行了黄铜镀敷或铜镀敷的钢琴丝。

16.一种电沉积线型工具的制造方法,其中,包括:

对被覆有无电解Ni-P镀层(2)的金属被覆磨粒(1)进行热处理,使所述无电解Ni-P镀层的至少一部分结晶化的工序;以及

以在镀层液中加入所述热处理后的金属被覆磨粒(1)并使之分散的状态,利用磁力通过磁感应作用使之吸附到基材即磁性线状体(4)并用镀层(3)固定的工序。

17.如权利要求16所述的电沉积线型工具的制造方法,其中,所述无电解Ni-P镀层(2)的P(磷)含量为4质量%以上。

18.如权利要求16所述的电沉积线型工具的制造方法,其中,所述无电解Ni-P镀层(2)的P(磷)含量为6质量%以上9质量%以下。

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