[发明专利]具有设计用于高压操作的操作参数和几何形状的电离计

权利要求书

1.一种用以测量压力的电离计，其包含：

至少一个电子源，其产生电子；

集极电极，其收集由所述电子与气体分子之间的冲击形成的离子；以及

阳极，其经配置以基于预定压力相对于所述集极电极的偏置电压来切换偏置电压。

2.根据权利要求1所述的电离计，其中所述阳极的所述偏置电压是相对于所述集极电极的所述偏置电压来切换以使溅射碰撞的产量减小。

3.根据权利要求1所述的电离计，其中所述阳极在低于约10^-4托的压力下以初始偏置电压操作，且其中所述阳极在高于约10^-4托的压力下以减少的偏置电压操作。

4.根据权利要求1所述的电离计，其进一步包含基于所述电离计的压力模式来改变所述阳极的所述偏置电压的控制器。

5.根据权利要求1所述的电离计，其中所述阳极偏置电压经切换以使得所述阳极与所述集极之间的电位差小于90伏。

6.根据权利要求1所述的电离计，其中所述阳极偏置电压经切换以使得所述阳极与所述集极之间的电位差为约80伏。

7.根据权利要求1所述的电离计，其中所述电子源以小于20伏的偏置电压操作。

8.根据权利要求1所述的电离计，其中所述电子源以约10伏的偏置电压操作。

9.根据权利要求1所述的电离计，其中所述阳极偏置电压是从约180伏切换到约80伏。

10.根据权利要求1所述的电离计，其中所述阳极偏置电压是切换到约80伏。

11.根据权利要求1所述的电离计，其中由所述集极电极收集到的电流形成压力信号。

12.根据权利要求1所述的电离计，其中所述阳极偏置电压是从约180伏切换。

13.根据权利要求1所述的电离计，其中所述阳极在高于约10^-4托下以减少的偏置电压操作。

14.根据权利要求1所述的电离计，其中所述电子源位于所述阳极内部，且其中所述集极电极位于所述阳极外部。

15.一种用以测量压力的电离计，其包含：

至少一个电子源，其产生电子；以及

至少一个集极电极，其收集由所述电子与气体分子之间的冲击形成的离子，其中所述至少一个集极电极位于阳极外部。

16.根据权利要求15所述的电离计，其进一步包含：

位于所述阳极内部的第二集极电极。

17.根据权利要求1所述的电离计，其中压力计为贝阿德-阿尔珀特型的。

18.根据权利要求1所述的电离计，其中离子化容积是由板状阳极与板状集极电极界定的，且其中所述产生电子的源通常介于所述板状阳极与所述板状集极电极之间。

19.一种从气体分子和原子测量气体压力的方法，其包含以下步骤：

从至少一个电子源产生电子；

将所述电子传输给阳极以形成离子；

相对于集极电极的偏置电压来切换阳极的偏置电压；以及

收集由所述电子与所述气体分子和原子之间的冲击形成的离子。

20.根据权利要求19所述的方法，其进一步包含相对于所述集极电极的所述偏置电压来切换所述阳极的所述偏置电压以减少所述离子的冲击能。

21.根据权利要求19所述的方法，其进一步包含由所述收集到的离子形成压力信号。

22.根据权利要求19所述的方法，其进一步包含在低于约10^-4托的压力下以初始偏置电压操作所述阳极，且在高于约10^-4托的压力下降低所述偏置电压。

23.根据权利要求19所述的方法，其进一步包含基于电离计的压力模式来控制所述阳极的所述偏置电压。

24.根据权利要求19所述的方法，其进一步包含切换所述偏置电压以使得所述阳极与所述集极电极之间的电位差小于约90伏。