[发明专利]排水处理方法

说明书

技术领域

本发明涉及排水处理方法。

背景技术

近年来，四甲基氢氧化铵(以下也有时记作TMAH)等氢氧化四烷基铵用作制造半导体或液晶面板的光刻法用的阳性抗蚀剂用显影液等，随着半导体或液晶的生产量的增加，含有氢氧化四烷基铵的排水的产生量也在增加。

到目前为止，已知的含有氢氧化四烷基铵的排水的处理方法有通过加热氢氧化四烷基铵使其热分解的处理方法、通过反渗透膜去除氢氧化四烷基铵的处理方法以及使用离子交换树脂去除的处理方法等。然而，在热分解氢氧化四烷基铵的处理方法中需要用于加热的燃料等，在使用反渗透膜或离子交换树脂的方法中需要处理去除的氢氧化四烷基铵。因此，这些处理方法存在处理成本比较高的问题。

并且，含有TMAH等氢氧化四烷基铵的排水的处理方法已知的有通过利用需氧微生物的需氧处理的排水处理方法(专利文献1)。然而，通过需氧处理的排水处理方法，随着微生物的增殖产生的废弃物的量比较多，需要用于供给氧气的动力，相比之下，存在排水处理成本变高的问题。

另一方面，作为以比较低的成本处理含有TMAH等氢氧化四烷基铵的排水的排水处理方法，已知的有通过利用厌氧性微生物的厌氧处理(甲烷发酵等)的排水处理方法。这样的排水处理方法与通过热分解等的处理方法不同，无需用于热分解的燃料等，且与使用反渗透膜或离子交换树脂的处理方法不同，不必要对回收去除的氢氧化四烷基铵进行进一步处理。然而，为使氢氧化四烷基铵等有机性物质的大部分分解而实施的厌氧处理中，氢氧化四烷基铵等有机性物质的分解活性容易随着时间的推移降低，存在难以保持较高的分解活性的问题。

因此，在含有氢氧化四烷基铵的排水的排水处理方法中，期望有能抑制氢氧化四烷基铵的分解活性的降低的通过厌氧处理的排水处理方法。

专利文献1：日本特开2006-326435号公报

发明内容

本发明鉴于上述问题点、期望点等，目的在于提供可抑制氢氧化四烷基铵的分解活性的降低的、对含有氢氧化四烷基铵的排水进行厌氧处理的排水处理方法。

为解决上述课题，本发明涉及的排水处理方法用于处理含有氢氧化四烷基铵的排水，其特征在于，在糖类或一元醇存在下对上述排水进行厌氧处理。

根据上述排水处理方法，由于在存在糖类或一元醇的条件下对上述排水进行厌氧处理，通过上述糖类或一元醇可提高厌氧性微生物分解氢氧化四烷基铵的代谢活性。通过上述糖类或一元醇更容易分解氢氧化四烷基铵的原理虽不能予以完全解释，但可认为上述糖类或一元醇提高了厌氧性微生物分解氢氧化四烷基铵的代谢活性。也就是说，为了代谢上述糖类或一元醇，厌氧性微生物的代谢活动变得活跃，与此同时分解氢氧化四烷基铵的代谢活动也变得活跃起来。

并且，本发明涉及的排水处理方法中，优选在单糖类存在下对上述排水进行厌氧处理。通过在单糖类存在下对上述排水进行厌氧处理，具有能进一步提高厌氧性微生物分解氢氧化四烷基铵的代谢活性的优点。

并且，本发明涉及的排水处理方法中，优选上述单糖类为葡萄糖。由于上述单糖类为葡萄糖，具有可提高厌氧性微生物分解氢氧化四烷基铵的代谢活性的优点。

并且，本发明涉及的排水处理方法中，优选在异丙醇存在下对上述排水进行厌氧处理。通过在异丙醇存在下对上述排水进行厌氧处理，具有能进一步提高厌氧性微生物分解氢氧化四烷基铵的代谢活性的优点。

并且，本发明涉及的排水处理方法中，优选相对于上述排水所含有的氢氧化四烷基铵的有机碳量1重量份有机碳量为0.5～2重量份的量的上述糖类存在下，对上述排水进行厌氧处理。

并且，本发明涉及的排水处理方法中，优选相对于上述排水中包含的氢氧化四烷基铵的有机碳量1重量份有机碳量为0.5～2重量份的量的上述一元醇存在下，对上述排水进行厌氧处理。

本发明涉及的排水处理方法，可提高厌氧性微生物分解氢氧化四烷基铵的代谢活性。因此，本发明的排水处理方法具有能抑制厌氧处理中氢氧化四烷基铵的分解活性的降低的效果。

附图说明

图1是示出本实施方式的排水处理方法所使用的排水处理设备的模式图；

图2是示出试验例1的排水处理中S-TOC去除率的坐标图；

图3是示出试验例1的排水处理中通过测量TMAH的浓度得出的TMAH的去除率的坐标图；

图4是示出试验例2的排水处理中S-TOC去除率的坐标图；

图5是示出试验例2的排水处理中通过测量TMAH的浓度得出的TMAH的去除率的坐标图；

图6是示出试验例3的排水处理中S-TOC去除率的坐标图；