[发明专利]将催化性溶液应用于化学沉积的方法

权利要求书

1.一种活化表面以在其上接受化学镀敷的方法，包括：

(a)运送该表面穿过选择性关闭的外壳；

(b)提供一装置以在该选择性关闭的外壳中含有液态活化剂，并在该表面运送穿过该选择性关闭的外壳时，泵取该液态活化剂使该液态活化剂接触该表面；以及

(c)将实质上脱氧的气体导入到该选择性关闭的外壳中；

其中该液态活化剂溶液包含胶体钯微粒和二价锡离子，并且其中该脱氧的气体抑制液态活化剂中二价锡离子的氧化。

2.如权利要求1所述的方法，其中该实质上脱氧的气体是从氢气、氦气、氩气、氮气、二氧化碳以及前述气体的混合物中选出的。

3.如权利要求2所述的方法，其中该实质上脱氧的气体包含氮气。

4.如权利要求3所述的方法，其中该氮气以0.1～9,000升/小时的速率导入。

5.如权利要求3所述的方法，其中通过将气体鼓泡或喷入穿过液态活化剂的方式将氮气导入。

6.如权利要求3所述的方法，包括用多孔管泵取氮气进入到选择性关闭的外壳中的步骤。

7.如权利要求3所述的方法，包括用喷嘴将氮气喷洒到选择性关闭的外壳中的步骤。

8.如权利要求3所述的方法，其中该氮气是通过用变压吸附法来纯化周围空气的方式而获得的。

9.如权利要求3所述的方法，其中该氮气的纯度范围为至少85重量％。

10.如权利要求1所述的方法，还包括在该表面运送穿过该选择性关闭的外壳时，泵取该液态活化剂以便涌入到该外壳中使该液态活化剂接触该表面的步骤。

11.如权利要求1所述的方法，还包括在该表面运送穿过该选择性关闭的外壳时，通过喷嘴泵取该液态活化剂使该液态活化剂接触该表面的步骤。

12.如权利要求1所述的方法，其中该选择性关闭的外壳包括在该外壳的入口及出口处彼此接触的两个辊。

13.如权利要求1所述的方法，还包括在该表面离开该外壳后，用化学镀液来处理该表面。

14.如权利要求13所述的方法，其中该化学镀液是从铜化学镀液、镍化学镀液和锡化学镀液中选出的。

15.一种用于活化待化学镀敷的表面的传送带式机构，该机构包括：

(a)用于运送该表面的传送带；

(b)选择性关闭的外壳，包括：

(i)至少一部分的传送带；

(ii)用于容纳液态活化剂的储槽；

(iii)能够将液态活化剂从储槽运送到传送带区域的泵和管；

(iv)选择性关闭的机构，其能够使该表面进入并离开该外壳，同时实质上将液态活化剂保留在该外壳中；

(v)将脱氧气体鼓泡到液态活化剂中的装置；和

(vi)确立该外壳范围并实质上容纳部件(i)～(v)的壁面；和

(c)脱氧气体源。

16.如权利要求15所述的机构，其中该脱氧气体包含氮气。

17.如权利要求15所述的机构，其中该选择性关闭的机构包括成对的夹辊。

18.如权利要求15所述的机构，其中该脱氧气体源使用变压吸附法从环境空气中产生氮气。

19.如权利要求15所述的机构，其中用于鼓泡脱氧气体的装置包括多孔管。

20.如权利要求16所述的机构，其中该液态活化剂包含水、胶体钯微粒和二价锡离子。