[实用新型]一种四氯化硅氢化炉有效
| 申请号： | 200920319109.6 | 申请日： | 2009-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN201722157U | 公开（公告）日： | 2011-01-26 |
| 发明（设计）人： | 许志斌;梅国刚;谢晓 | 申请（专利权）人： | 峨嵋半导体材料研究所 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03;C30B29/06 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 刘雪莲 |
| 地址： | 614200 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 氯化 氢化 | ||
【权利要求书】：
1.一种四氯化硅氢化炉，包括一钟罩式双层炉体（6）和中间通冷却水的双层复合式底盘（2），炉体（6）与底盘（2）通过法兰、螺杆或快速卡子（3）相连接；炉体（6）的壳体夹层间通冷却水，冷却水的进水口（10）设置在炉体（6）的下部，炉体（6）的内部设置有多个倒U型加热器（9），双层复合式底盘（2）上设置有出气口（1）和多个电极（11），电极（11）与加热器（9）之间电连接；其特征在于：冷却水的出水口（7）设置于炉体（6）的顶部，上端为标准椭圆封头；炉体（6）与加热器（9）之间还设置有隔热屏（4）及耐腐蚀保温层（12）；双层复合式底盘（2）上还设置多个进气管（13）。
2.根据权利要求1所述的四氯化硅氢化炉，其特征在于：四氯化硅氢化炉的电极（11）有36个，从内向外分3圈排布，分别为6个、12个、18个，所述进气管（13）有6个，与第二圈电极分布在同一圆周上。
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