[实用新型]一种聚合物旋涂装置无效
| 申请号： | 200920265368.5 | 申请日： | 2009-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN201565409U | 公开（公告）日： | 2010-09-01 |
| 发明（设计）人： | 文尚胜;王保争;张剑平 | 申请（专利权）人： | 华南理工大学 |
| 主分类号： | B05C11/08 | 分类号： | B05C11/08;H01L51/40;H01L51/48;H01L51/56 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 何淑珍 |
| 地址： | 510640 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 聚合物 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种聚合物旋涂装置，包括抽气泵(1)、通气管(2)，其特征在于还包括进动变轴装置(4)，所述进动变轴装置(4)由基板(5)、主转动轴(6)和变轴(7)组成；抽气泵(1)通过通气管(2)连接到基板(5)。
2.根据权利要求1的聚合物旋涂装置，其特征在于所述基板(5)设有主转动轴(6)和变轴(7)。
3.根据权利要求1的聚合物旋涂装置，其特征在于所述主转动轴(6)位于基板(5)中心。
4.根据权利要求1的聚合物旋涂装置，其特征在于所述变轴(7)数量为一个以上。
5.根据权利要求1的聚合物旋涂装置，其特征在于所述变轴(7)对称分布于基板(5)的同一圆上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华南理工大学，未经华南理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200920265368.5/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：膨化纸翻转装置
- 下一篇：散板式导向分流均料器
