[实用新型]探针卡有效
| 申请号： | 200920207710.6 | 申请日： | 2009-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN201440146U | 公开（公告）日： | 2010-04-21 |
| 发明（设计）人： | 何莲群;杨莉娟;周华阳 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R1/073 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 探针 | ||
【权利要求书】：
1.一种探针卡，其对作为检测对象的测试单元进行电信号的测试，所述探针卡包括电路板、探针以及探针环，所述探针一端连接在所述电路板上，另一端穿过所述探针环并集中在所述探针环内，其特征在于：在所述探针与所述电路板之间串联有电阻元件。
2.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于：所述电阻元件的电阻小于检测对象的测试单元的绝缘电阻。
3.如权利要求1所述的探针卡，其特征在于：所述电阻元件的电阻值范围为500～2000欧姆。
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