[实用新型]蚀刻工具装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种蚀刻工具装置，尤指一种利用蚀刻液对基板斜向蚀刻，使蚀刻出的沟槽与基板表面呈斜角的蚀刻工具装置。

背景技术

随着科技发达，产出各种电子产品及电子设备，金属加工仍然普遍应用于此些产品及设备，尤其机壳内部需要安装许多机构元件，需透过金属加工达到这些机构元件的设置。

金属加工主要包括钻孔、凿沟等过程，而加工装置大多以垂直方向在金属表面加工形成垂直的沟槽，此类垂直沟槽的加工技术成熟，可以轻易完成。但若需要与基材表面呈斜角的沟槽，会遭遇相当程度的困难，因为斜向的加工不易定位及施力，若操作不当可能会造成基板表面的损坏，失败率较高，耗费的加工时间较长，无形中增加许多时间及金钱的成本。除了金属加工，上述内容亦适用于其他材质的加工。

因此，需要开发出操作容易、加工效果良好的装置，以符合上述需求，使加工过程更为便捷，加工成本更为低廉。

实用新型内容

本实用新型的主要目的，在于提供一种蚀刻工具装置，可以利用蚀刻液轻易地对基板进行斜向蚀刻，形成与基板表面呈斜角的沟槽。

为了达到上述的目的，本实用新型提供一种蚀刻工具装置，包括：一内壳体，该内壳体为中空柱筒状，该内壳体内的中空空间形成一排液孔，该内壳体的底面为一内底面；以及一外壳体，该外壳体为中空柱筒状，该外壳体套设于该内壳体之外，该外壳体的内径大于该内壳体的外径，该外壳体与该内壳体之间的间隙形成一供液孔，该供液孔底部向下并向外延伸形成一喷射口，该外壳体的底面为一外底面，该内底面的水平位置高于该外底面。

另外，本实用新型提供另一种蚀刻工具装置，包括：一中央柱体，该中央柱体为柱筒状，该中央柱体的底面为一中央底面；一内壳体，该内壳体为中空柱筒状，该内壳体套设于该中央柱体之外，该内壳体的内径大于该中央柱体的外径，该内壳体与该中央柱体之间的间隙形成一供液孔，该供液孔向下并向内延伸形成一喷射口，该内壳体的底面为一内底面；以及一外壳体，该外壳体为中空柱筒状，该外壳体套设于该内壳体之外，该外壳体的内径大于该内壳体的外径，该外壳体与该内壳体之间的间隙形成一排液孔，该外壳体的底面为一外底面，该中央底面及该外底面具有相同的水平位置，该内底面的水平位置高于该中央底面及该外底面。

借助于本实用新型的蚀刻工具装置，将蚀刻液加速通过该供液孔并由该喷射口喷出，使该蚀刻液斜向冲击该基板表面，同时立刻将溢流在该基板表面上的蚀刻液由该排液孔排出，缩短该蚀刻液在该基板表面的停留时间，提高蚀刻方向的对比性，因此该蚀刻液对该基板的冲击位置及方向具有特别显著的蚀刻效果，将该基板蚀刻出与其表面呈斜角的沟槽。

为了更进一步了解本实用新型的特征及技术内容，请参阅以下有关本实用新型的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本实用新型加以限制。

附图说明

图1为本实用新型蚀刻工具装置第一实施例的侧视剖面图；

图2为本实用新型蚀刻工具装置第一实施例的俯视剖面图；

图3A，图3B为本实用新型蚀刻工具装置第一实施例对基板蚀刻加工后的俯视图及剖面图；

图4为本实用新型蚀刻工具装置第二实施例的俯视剖面图；

图5A，图5B为本实用新型蚀刻工具装置第二实施例对基板蚀刻加工后的俯视图及剖面图；

图6为本实用新型蚀刻工具装置第三实施例的俯视剖面图；

图7A，图7B为本实用新型蚀刻工具装置第三实施例对基板蚀刻加工后的俯视图及剖面图；

图8为本实用新型蚀刻工具装置第四实施例的侧视剖面图；

图9为本实用新型蚀刻工具装置第四实施例的俯视剖面图；

图10A，图10B为本实用新型蚀刻工具装置第四实施例对基板蚀刻加工后的俯视图及剖面图；

图11为本实用新型蚀刻工具装置第五实施例的俯视剖面图；

图12A，图12B为本实用新型蚀刻工具装置第五实施例对基板蚀刻加工后的俯视图及剖面图。

【主要元件附图标记说明】

1内壳体

11排液孔

12内底面

121排液间隙

13曲面

2外壳体

21供液孔

211喷射口

212隔板

22外底面

3基板

31沟槽

4中央柱体

42中央底面

5内壳体

51供液孔

511喷射口

512隔板

52内底面

521排液间隙