[实用新型]一种窄线宽波长锁定的半导体激光器

权利要求书

1.一种窄线宽波长锁定的半导体激光器，其特征在于：包括依次排列的半导体激光器(101)、准直透镜组(102)、标准具组和部分反射镜(106)，所述的半导体激光器的一端面与所述的部分反射镜构成反馈外腔，所述的标准具组为波长锁定的选模元件。

2.根据权利要求1所述的窄线宽波长锁定的半导体激光器，其特征在于：所述的标准具组是两个或两个以上标准具(104、105)构成，所述的标准具组通光面法线与激光传输方向存在一定的夹角，所述的夹角范围限定为使得反射光不能回返到所述的半导体激光器(101)的芯片中。

3.根据权利要求2所述的窄线宽波长锁定的半导体激光器，其特征在于：所述的标准具组可以插入窄带滤波片，其通带半高宽＜0.2nm，FSR＞所述的半导体激光器(101)的谱线宽度。

4.根据权利要求1所述的窄线宽波长锁定的半导体激光器，其特征在于：所述的准直透镜组(102)的一端为球透镜，另一端为柱面镜。

5.根据权利要求1所述的窄线宽波长锁定的半导体激光器，其特征在于：所述的部分反射镜(106)的反射率在10％-40％。