[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 200920135947.8 | 申请日： | 2009-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN201403194Y | 公开（公告）日： | 2010-02-10 |
| 发明（设计）人： | 苏永泽 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技(常州)有限公司;瑞声声学科技(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | H04R9/04 | 分类号： | H04R9/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213167*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【权利要求书】：
1.一种MEMS麦克风，包括带进声孔的上盖板、一环绕并支撑上盖板的壳壁、一支撑壳壁及上盖板的基板，基板与壳壁、上盖板所构成的空腔内设有集成电路芯片和MEMS芯片，其特征在于：基板上设有隔板，隔板将空腔分设为至少两个子空腔，进声孔和MEMS芯片分别位于不同子空腔，MEMS芯片带有凹陷声腔，基板内部设有声学通道，凹陷声腔与进声孔通过该声学通道相通。
2、根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：该声学通道至少有一段走向与基板平行。
3、根据权利要求1所述的MEMS麦克风，其特征在于：所述的MEMS芯片与集成电路芯片位于不同的子空腔。
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