[实用新型]一种磁控溅射镀膜机有效
| 申请号： | 200920104248.7 | 申请日： | 2009-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN201695080U | 公开（公告）日： | 2011-01-05 |
| 发明（设计）人： | 刘洪良;刘洪国;王树立;杨凯 | 申请（专利权）人： | 黄骅荣达玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C03C17/09;C03C17/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 06110*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 镀膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种磁控溅射镀膜机，包括传输室、过渡室、溅射室和入/出口室，其特征在于，还包括设置在入/出口室和传输室的防窜气屏蔽系统，且所述传输室为四级夹缝式防窜气结构的四缓冲室，所述传输室、过渡室、溅射室和入/出口室的过片缝开口高度及防窜气屏蔽系统的高度设置为35mm。
2.如权利要求1所述的磁控溅射镀膜机，其特征在于，所述防窜气屏蔽系统具体为设置在传输辊道上的防窜气夹缝底板和与防窜气夹缝底板平行的防窜气夹缝上盖板。
3.如权利要求1所述的磁控溅射镀膜机，其特征在于，还包括用于控制玻璃传输速度的变频器，当平板玻璃镀膜时，由入/出口室进入传输室的传输速度设定为30米/分，弯弧玻璃镀膜时，将该传输速度设定为10米/分。
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