[实用新型]一种无噪声化学液冷热交换精密温度控制器

说明书

技术领域

本实用新型涉及化学腐蚀辅助器件，特别是涉及一种无噪声化学液冷热交换精密温度控制器。

背景技术

半导体器件工业生产工艺中，广泛使用化学腐蚀方法来完成硅片表面刻蚀图形。在化学腐蚀中，化学液的温度对腐蚀质量起着重要作用，过高的温度将使腐蚀表面粗糙和过度，无法得到精细的结果影响质童量；过低的温度无法完成所需的刻蚀深度。因此在工艺上对温度和精度有着严格要求。现有技术一般使用压缩机制冷技术另加电加热调节温度来实现，体积大精度不易控制且有噪音。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种无噪声化学液冷热交换精密温度控制器。

本实用新型的目的可以通过以下技术方案来实现：一种无噪声化学液冷热交换精密温度控制器，其特征在于，包括冷却水热交换器、半导体制冷片、多组制冷加热热交换组件以及多组化学液塑料管，所述的冷却水热交换器上设有热交换回路以及与该回路连通的冷却水进口和冷却水出口，所述的冷却水热交换器的两面均匀设有多片半导体制冷片，所述的多组制冷加热热交换组件均匀设于多片半导体制冷片的外侧，该制冷加热热交换组件上均匀设有多路塑料管通道，所述的多组化学液塑料管分别穿绕于塑料管通道中。

所述的制冷加热热交换组件上设有多重过热保护片。

所述的制冷加热热交换组件包括四块铝板，该四块铝板上均设有多条半圆沟槽，该四块铝板两两対合并分别设置于冷却水热交换器的两侧，构成多个塑料管多路通道。

所述的化学液塑料管上设有弹性金属保护套。

与现有技术相比，本实用新型使设备体积大为缩小，且无噪音，易精确控温，安全可靠。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明。

如图1，一种无噪声化学液冷热交换精密温度控制器，包括冷却水热交换器1、半导体制冷片2、多组制冷加热热交换组件3以及多组化学液塑料管4，所述的冷却水热交换器1上设有热交换回路以及与该回路连通的冷却水进口10和冷却水出口11，所述的冷却水热交换器1的两面均匀设有多片半导体制冷片2，所述的多组制冷加热热交换组件3均匀设于多片半导体制冷片2的外侧，该制冷加热热交换组件3上均匀设有多路塑料管通道，所述的多组化学液塑料管4分别穿绕于塑料管通道中。冷却水热交换器二面安装半导体制冷片，在其外侧安装制冷加热热交换组件。本实用新型通过半导体制冷片、制冷量和加热量的比例控制，以获得对化学液的温度精密控制。

所述的制冷加热热交换组件3上设有多重过热保护片；所述的制冷加热热交换组件3包括四块铝板30，该四块铝板30上均设有多条半圆沟槽，该四块铝板两两対合并分别设置于冷却水热交换器的两侧，构成多个塑料管多路通道；所述的化学液塑料管4上设有弹性金属保护套40，化学液塑料管4具有化学液进口41和化学液出口42。

本实用新型使用半导体制冷器制冷技术，利用其改变电流方向既能制冷也能加热的原理，来实现对化学液的温度调节和精确控制。

本实用新型重点在于制冷加热热交换组件，它由四片铝制热交换板，中间开有半圆槽，四片合成一组，将热交换塑料管紧密压在中间。实现理想的热交换性能。更重要的是热交换器内部流通化学液管是整体结构。杜绝了化学液泄漏的可能。

在半导体工业中所用的化学腐蚀液都为强酸碱泄漏会产生很大危害，且对整体设备污污染将产生不可沽量的损失。本实用新型可最大限度杜绝此事故发生。