[发明专利]称量病毒的方法及称量病毒用的纳米秤

权利要求书

1.一种称量病毒的方法，通过制备纳米秤实现，包括下列步骤：

(1)光刻工艺，在衬底上制备电极，其中正、负电极之间的尺寸为1～10μm；

(2)在正、负电极之间搭建金属一维纳米结构；

(3)将金属一维纳米结构的两端分别与正、负电极的接触电极进行焊接，实现欧姆接触， 组建纳米秤的“秤盘”即悬臂梁部分，其长度不小于10μm，宽度为150～500nm，厚 度为10～90nm；

(4)在悬臂梁上加载病毒后，利用光学象散的方法测量悬臂梁振动频率变化，从而标定病 毒重量。

2.一种称量病毒的方法，通过制备纳米秤实现，包括下列步骤：

(1)光刻工艺，在衬底上制备电极，其中正、负电极之间的尺寸为1～10μm；

(2)在正、负电极之间搭建金属一维纳米结构，所采用的金属材料为可以氧化成为具有压 电效应的纳米材料；

(3)将金属一维纳米结构的两端分别与正、负电极的接触电极进行焊接，实现欧姆接触， 组建纳米秤的“秤盘”即悬臂梁部分，其长度不小于10μm，宽度为150～500nm，厚 度为10～90nm；

(4)将构成纳米秤“秤盘”部分的金属一维纳米结构氧化成为具有压电效应的纳米材料， 再通过压电效应的力-电转换机制，测定称量物的重量。

3.一种称量病毒用的纳米秤，包括衬底、制作在其上的正、负电极，金属一维纳米结构，测 量悬臂梁振动频率变化的装置，其中，

正、负电极之间的尺寸为1～10μm；

金属一维纳米结构的两端分别正、负电极欧姆接触，组建纳米秤的“秤盘”即悬臂梁部 分，其宽度为150～500nm，厚度为10～90nm；

测量悬臂梁振动频率变化的装置，所述装置利用光学象散的方法测悬臂梁振动频率变化， 从而标定病毒重量。

4.一种称量病毒用的纳米秤，包括衬底和制作在其上的正、负电极，正、负电极之间的尺寸 为1～10μm；在正、负电极之间搭建金属一维纳米结构，所采用的金属材料为可以氧化成 为具有压电效应的纳米材料，并使金属一维纳米结构的两端分别焊接在正、负电极之间实 现欧姆接触并组建纳米秤的“秤盘”即悬臂梁部分后，再将悬臂梁部分氧化为具有压电效 应的纳米材料，悬臂梁部分宽度为150～500nm，厚度为10～90nm；正、负电极与测量电路 相连，所述的测量电路能够通过压电效应的力-电转换机制，测定称量物的重量。