[发明专利]湿式镀膜系统

权利要求书

1.一种湿式镀膜系统，其特征在于，其包括选择性地相互连通的一个镀膜室、一个退火室及一个设置在该退火室上的腔门，该镀膜室内包括用于对至少一个待镀膜基板进行镀膜的一个湿式镀膜装置及一个夹持手臂，该夹持手臂用于夹持该湿式镀膜装置并驱动该湿式镀膜装置在镀膜室及退火室内自由移动，该至少一个待镀膜基板在该湿式镀膜装置上的装卸通过该腔门在该退火室内进行，该退火室内包括一加热装置，该加热装置用于对该湿式镀膜装置产生的镀膜基板进行加热，该加热后的镀膜基板在该退火室内冷却。

2.如权利要求1所述的湿式镀膜系统，其特征在于，该湿式镀膜系统还包括一个与该退火室选择性连通的装卸室，该夹持手臂还用于夹持该湿式镀膜装置并驱动该湿式镀膜装置在装卸室内自由移动，该腔门设置在该装卸室上，该待镀膜基板的装卸通过该腔门在该装卸室内进行。

3.如权利要求1所述的湿式镀膜系统，其特征在于，该镀膜室内还包括一个用于导入氮气的进气装置及一个用于导出气体的排气装置。

4.如权利要求1所述的湿式镀膜系统，其特征在于，该镀膜室内还包括承载有待镀液体的多个容器及带有第一开关阀门的排液管，该待镀液体用于对该待镀膜基板进行镀膜，该排液管包括多个排液岔管，每个排液岔管与对应的容器相通并利用该第一开关阀门排放该多个容器内的待镀液体。

5.如权利要求4所述的湿式镀膜系统，其特征在于，该镀膜室内还包括带有第二开关阀门的进液管，该进液管包括多个进液岔管，每个进液岔管利用该第二开关阀门将待镀液体注入到该多个容器内。

6.如权利要求1所述的湿式镀膜系统，其特征在于，该退火室内还包括一个温度传感器及一个与该温度传感器电性连接的控制器，该温度传感器用于检测该加热装置的温度并将检测结果传送至该控制器，该控制器用于根据该检测结果实时控制该加热装置进行加热。

7.如权利要求2所述的湿式镀膜系统，其特征在于，该镀膜室与该退火室之间、及该退火室与该装卸室之间均存在一个自动门，以使该夹持手臂驱动该湿式镀膜装置在镀膜室、退火室及装卸室内自由移动。

8.如权利要求1所述的湿式镀膜系统，其特征在于，该湿式镀膜装置包括分别用于夹持多个待镀膜基板的多个夹持单元、本体及用于连接该多个夹持单元与该本体的多个连接体，每个夹持单元包括悬臂及用于夹持该待镀膜基板的夹持件，该悬臂包括相对的两个端面及连接该两个端面的侧面，该连接体与该侧面固接，该夹持件固接在悬臂的其中一个端面上。

9.如权利要求8所述的湿式镀膜系统，其特征在于，该湿式镀膜装置还包括多个监控器，每个监控器固接在每个夹持单元的悬臂的另一个端面上，该监控器用于监控该待镀膜基板进行镀膜。

10.如权利要求8所述的湿式镀膜系统，其特征在于，该本体、该连接体及该悬臂均为中空的，且该本体、该连接体及该悬臂相互连通，该本体包括一个入风口，该悬臂包括与该入风口相通的多个出风口，该多个出风口开设在该悬臂设置有该夹持件的端面上。

11.如权利要求9所述的湿式镀膜系统，其特征在于，每个夹持单元还包括一个传动件，该传动件的一端连接该悬臂，该传动件的另一端连接该夹持件，该悬臂为中空的，该悬臂的内表面具有第一内螺纹，该传动件的外表面具有与该第一内螺纹相螺合的第一外螺纹，该悬臂与该传动件相螺合以使该连传动件可被该悬臂的第一内螺纹导引移动。

12.如权利要求11所述的湿式镀膜系统，其特征在于，该本体及该连接体均为中空的，且该本体、该连接体及该悬臂相互连通，该本体包括一个入风口，该悬臂包括与该入风口相通的多个出风口，该多个出风口开设在该悬臂设置有该传动件的端面上。