[发明专利]具有探针的高度量测装置以及使用该装置量测高度的方法

权利要求书

1.一种具有探针的高度量测装置，其特征在于，其包含有：

一治具，所述治具上设有具有相同轴向的至少一通孔；

对应所述通孔数量的探针，通孔内设置有一所述探针，所述探针可沿通孔轴向位移；

一位移量判读单元，其具有至少一影像读取装置、至少一电脑系统及一显示器，其中所述多个影像读取装置可读取探针的影像，并传输至其中一电脑系统，而所述多个电脑系统内建有软件程序，可针对影像读取装置读取的探针位移前与位移后的影像，进行探针在影像上的位移量的判读，并且转换为探针在真实空间中的位移量，而后输出至所述显示器。

2.一种使用具有探针的高度量测装置量测高度的方法，其特征在于，其步骤包含有：

提供一根据权利要求1所述的具有探针的高度量测装置；

提供一基准底板，其设置于治具下方，并令探针底端接触于所述基准底板，再以具有探针的高度量测装置中的影像读取装置读取探针的影像；

提供至少一受测物体，受测物体置于基准底板上对应于探针的位置处，并令探针底端接触于受测物体，再以影像读取装置读取探针的影像；

具有探针的高度量测装置中的电脑系统针对探针底端接触于基准底板时的影像以及探针底端接触于受测物体时的影像判读探针在影像上的位移量，并将所述位移量转换为探针在真实空间中的位移量，再输出至显示器。