[发明专利]金属纳米颗粒复合材料及其制备方法

权利要求书

1.一种金属纳米颗粒复合材料，其特征在于：包括沉积在基片(1)上的金属 层(2)、相变材料层(3)和保护层(4)多层结构薄膜，在所述的相变材料层中分 散分布有金属纳米颗粒的复合材料(5)；

所述的基片(1)为厚度为0.1～3.0mm的Si片、或K9玻璃片、或聚碳酸酯片；

所述的金属层(2)为厚度为5～500nm的Ag、或Au、或Pt、或Cu、或Al薄 膜；

所述的相变材料层(3)是厚度为5～500nm的GeSbTe、或AgInSbTe、或SbTe、 或SiSb相变材料薄膜；

所述的保护层(4)为厚度0～50nm的SiN或ZnS-SiO₂薄膜；

所述的复合材料(5)为厚度为10～1000nm的Ag纳米颗粒-GeSbTe复合材料、 或Au纳米颗粒-GeSbTe复合材料、或Pt纳米颗粒-GeSbTe复合材料、或Cu纳米颗 粒-GeSbTe复合材料、或Al纳米颗粒-GeSbTe复合材料、或Ag纳米颗粒-AgInSbTe 复合材料、或Au纳米颗粒-AgInSbTe复合材料、或Pt纳米颗粒-AgInSbTe复合材料、 或Cu纳米颗粒-AgInSbTe复合材料、或Al纳米颗粒-AgInSbTe复合材料、或Ag纳 米颗粒-SbTe复合材料、或Au纳米颗粒-SbTe复合材料、或Pt纳米颗粒-SbTe复合 材料、或Cu纳米颗粒-SbTe复合材料、或Al纳米颗粒-SbTe复合材料、或Ag纳米 颗粒-SiSb复合材料、或Au纳米颗粒-SiSb复合材料、或Pt纳米颗粒-SiSb复合材料、 或Cu纳米颗粒-SiSb复合材料、或Al纳米颗粒-SiSb复合材料、或Ag纳米颗粒-GeSb 复合材料、或Au纳米颗粒-GeSb复合材料、或Pt纳米颗粒-GeSb复合材料、或Cu 纳米颗粒-GeSb复合材料、或Al纳米颗粒-GeSb复合材料。

2.根据权利要求1中所述的金属纳米颗粒复合材料，其特征在于：所述的金属 纳米颗粒的尺寸为5～50nm。

3.权利要求1中所述的金属纳米颗粒复合材料的制备方法，其特征在于：该方 法包括下列步骤：

①在所述的基片(1)上依次沉积所述的金属层(2)、相变材料层(3)和保护 层(4)构成多层结构薄膜；

②利用激光脉冲辐照所述的多层结构薄膜，形成金属纳米颗粒分散分布于所述 的相变材料中的复合材料(5)。

4.根据权利要求3所述的金属纳米颗粒复合材料的制备方法，其特征在于：所 述的复合材料(5)中，金属纳米颗粒的尺寸通过改变激光脉冲的参数来调节，相变 材料的光学常数通过在不同温度退火处理条件来调节，形成复合材料的区域通过移 动激光作用区域来调节。