[发明专利]扩散板结构及其制作方法有效

专利信息
申请号: 200910222774.8 申请日: 2009-11-13
公开(公告)号: CN102064082A 公开(公告)日: 2011-05-18
发明(设计)人: 朴炳俊;苏金种;刘芳钰 申请(专利权)人: 世界中心科技股份有限公司
主分类号: H01L21/00 分类号: H01L21/00;C23C16/513
代理公司: 上海翼胜专利商标事务所(普通合伙) 31218 代理人: 翟羽
地址: 中国台湾台中县梧*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 扩散 板结 及其 制作方法
【权利要求书】:

1.一种扩散板结构,包括:

一基材;

多个孔洞,纵向形成于所述基材内,各孔洞分别包括:

一进气部;

一出气部;以及

一连接部,用以连接所述进气部与所述出气部,其特征在于,所述扩散板结构还包括一黏合层形成于各出气部的侧壁上,所述黏合层的厚度为1微米至11微米。

2.根据权利要求1所述的扩散板结构,其特征在于,所述基材的材料为金属。

3.根据权利要求2所述的扩散板结构,其特征在于,所述金属为铝。

4.根据权利要求1所述的扩散板结构,其特征在于,所述进气部呈圆锥形,且圆锥形两端较窄处连接至所述连接部。

5.根据权利要求1所述的扩散板结构,其特征在于,所述出气部呈圆锥形,且圆锥形两端较窄处连接至所述连接部。

6.根据权利要求1所述的扩散板结构,其特征在于,所述黏合层的厚度为1微米至3微米。

7.根据权利要求1所述的扩散板结构,其特征在于,所述黏合层为一氧化层。

8.根据权利要求1所述的扩散板结构,其特征在于,所述黏合层进一步形成于各连接部的侧壁上。

9.根据权利要求8所述的扩散板结构,其特征在于,所述黏合层进一步形成于各进气部的侧壁上。

10.根据权利要求1所述的扩散板结构,其特征在于,所述连接部的直径小于所述进气部的直径以及所述出气部的直径。

11.一种扩散板结构的制作方法,所述扩散板结构包括一基材以及多个纵向形成于所述基材内的孔洞,各孔洞分别包括一进气部、一出气部以及一用以连接所述进气部与所述出气部的连接部,其特征在于,所述制作方法包括:利用一酸性化学溶液清洁所述扩散板结构;以及

在各出气部的侧壁上形成一黏合层,所述黏合层的厚度为1微米至11微米。

12.根据权利要求11所述的制作方法,其特征在于,在各出气部的侧壁上形成所述黏合层的步骤之前,进一步包括以加压水柱清洁所述扩散板结构的步骤。

13.根据权利要求11所述的制作方法,其特征在于,所述酸性化学溶液为硝酸。

14.根据权利要求11所述的制作方法,其特征在于,利用一硫酸溶液对各出气部进行阳极电镀,以在各出气部的侧壁上形成所述黏合层。

15.根据权利要求14所述的制作方法,其特征在于,所述硫酸溶液浓度为15%至25%重量百分比。

16.根据权利要求14所述的制作方法,其特征在于,所述硫酸溶液的温度为-5℃至20℃。

17.根据权利要求11所述的制作方法,其特征在于,所述黏合层的厚度为1微米至3微米。

18.根据权利要求11所述的制作方法,其特征在于,所述基材的材料为金属。

19.根据权利要求18所述的制作方法,其特征在于,所述金属为铝。

20.根据权利要求11所述的制作方法,其特征在于,所述黏合层为一氧化层。

21.根据权利要求11所述的制作方法,其特征在于,在于所述出气部的侧壁上形成所述黏合层的步骤中,进一步包括于各连接部的侧壁上形成所述黏合层的步骤。

22.根据权利要求11所述的制作方法,其特征在于,在于所述出气部的侧壁上形成所述黏合层的步骤中,进一步包括于各进气部的侧壁上形成所述黏合层的步骤。

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