[发明专利]一种双通道光谱能量调谐滤光片有效
| 申请号： | 200910207563.7 | 申请日： | 2009-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN101697020A | 公开（公告）日： | 2010-04-21 |
| 发明（设计）人： | 王琦;张大伟;高秀敏;黄元申;倪争技;庄松林 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20 |
| 代理公司： | 上海东创专利代理事务所(普通合伙) 31245 | 代理人： | 宁芝华 |
| 地址： | 20009*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 双通道 光谱 能量 调谐 滤光 | ||
【权利要求书】：
1.一种双通道光谱能量调谐滤光片，其特征在于：用电子蒸发法在基底层镀上一层厚度为 160nm的均匀二氧化铪膜层，用旋涂法在二氧化铪膜层上镀上一层厚度为227nm的光刻 胶并烘干，再在光刻胶层上用曝光和显影技术制作高低折射率材料为光刻胶和入射媒质的 光栅，即得到双通道光谱能量调谐滤光片，通过调节方位角实现双通道调谐反射光谱能量； 所述光栅的具体参数为：光栅周期409nm，占空比0.3，光栅槽深134nm，光栅高低折射 率材料分别是光刻胶和空气，对应折射率分别为1.63和1.0，二氧化铪膜层作为波导层， 折射率为1.98。
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