[发明专利]碳素电极的制造方法及石英玻璃坩埚的制造方法有效
| 申请号： | 200910204437.6 | 申请日： | 2009-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN101685688A | 公开（公告）日： | 2010-03-31 |
| 发明（设计）人： | 藤田刚司;森川正树 | 申请（专利权）人： | 日本超精石英株式会社 |
| 主分类号： | H01B13/00 | 分类号： | H01B13/00;C03B20/00;C04B35/52;B24B27/033;C09K3/14;B24B31/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张雪梅;李家麟 |
| 地址： | 日本秋田*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 碳素 电极 制造 方法 石英玻璃 坩埚 | ||
1.一种石英玻璃坩埚的制造方法，其特征在于，具有：
制造多个碳素电极的工序；
使石英粉成形为坩埚的形状以形成石英粉成形体的成形工序；
在所述多个碳素电极之间供给电力，在这些碳素电极之间形成电 弧放电的工序；以及
通过所述电弧放电将所述石英粉成形体熔融以制造石英玻璃坩埚 的工序，
其中，所述碳素电极的制造工序具有：摩擦处理工序，在电力供 给之前，通过与所述被熔融物同种的摩擦体对所述碳素电极表面进行 摩擦处理，
所述摩擦体是与石英玻璃坩埚的制造原料同种的石英粉，或者， 是与石英玻璃坩埚同种的石英。
2.根据权利要求1所述的石英玻璃坩埚的制造方法，其特征在于，
所述摩擦处理工序在对所述碳素电极前端进行整形的磨削工序后 进行。
3.根据权利要求1所述的石英玻璃坩埚的制造方法，其特征在于，
将所述石英粉中的杂质水平分别设定在Fe：0.001～1.0ppm、Na： 0.001～1.3ppm、K：0.001～1.0ppm、Li：0.001～1.0ppm、Cu：0.001～ 0.05ppm、Ca：0.001～1.0ppm的范围。
4.根据权利要求1所述的石英玻璃坩埚的制造方法，其中，所述 石英粉的平均粒径D50为φ100～250μm。
5.根据权利要求1所述的石英玻璃坩埚的制造方法，其特征在于，
在所述摩擦处理工序中，在将所述碳素电极前端侧插入到贮存作 为所述摩擦体的石英粉的贮存槽的状态下，使所述贮存槽和所述碳素 电极相对地进行旋转运动、轴线方向往复运动或旋转运动和轴线方向 往复运动，进行摩擦处理。
6.根据权利要求1所述的石英玻璃坩埚的制造方法，其特征在于，
在所述摩擦处理工序中，利用作为所述摩擦体的石英粉对所述碳 素电极前端侧进行喷砂处理。
7.根据权利要求1所述的石英玻璃坩埚的制造方法，其特征在于，
在所述摩擦处理工序中，在对所述碳素电极前端侧进行摩擦处理 时，将对所述电极基端侧进行保持的保持单元表面的杂质水平分别维 持在Fe：0.001～1.0ppm、Na：0.001～1.3ppm、K：0.001～1.0ppm、 Li：0.001～1.0ppm、Cu：0.001～0.05ppm、Ca：0.001～1.0ppm的范围。
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