[发明专利]电浆蚀刻机台及其顶出销有效

申请号：	200910204143.3	申请日：	2009-10-15
公开（公告）号：	CN101692433A	公开（公告）日：	2010-04-07
发明（设计）人：	吴仲尧;陈信全;徐弘迪;陈璟桦;吴志坚;杨总胜;杨中维;江舜彦;宋嘉恩;杨胜淼;曾景义	申请（专利权）人：	友达光电股份有限公司
主分类号：	H01L21/687	分类号：	H01L21/687;H01L21/677;H01L21/00
代理公司：	北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006	代理人：	梁挥;张燕华
地址：	中国台***	国省代码：	中国台湾;71
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摘要：
搜索关键词：	蚀刻机台及其顶出销
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【权利要求书】：

1.一种顶出销，用于一等离子体蚀刻机台，以顶起一基板，其特征在于，该顶出销包含：

一绝缘外壳；以及

一导电中心销，安装于该绝缘外壳之中，并在顶起该基板时，接触该基板，以移除该基板上的残留静电，该导电中心销具有一底部接地端，以电性连接该等离子体蚀刻机台的一接地线路，该导电中心销上设置有一安全槽，该安全槽相较于该导电中心销具有较小的截面积，且该顶出销向上升起时，该安全槽能够高出于该等离子体蚀刻机台的下电极的表面。

2.如权利要求1所述的顶出销，其特征在于，所述的导电中心销的材料选自于金、银、铜、铁、铝合金与不锈钢所构成的群组，该绝缘外壳的材料选自于聚苯并咪唑、聚醚醚酮、陶瓷、石英与聚酰亚胺所构成的群组。

3.如权利要求1所述的顶出销，其特征在于，该安全槽与该导电中心销的一顶端距离92毫米。

4.如权利要求1所述的顶出销，其特征在于，所述的绝缘外壳具有一扳手固定槽，设置于该绝缘外壳的上方部位，用以固定该顶出销，该扳手固定槽与该绝缘外壳的一顶端距离12毫米。

5.如权利要求1所述的顶出销，其特征在于，所述的绝缘外壳的一顶端，具有一倒角。

6.如权利要求1所述的顶出销，其特征在于，所述的绝缘外壳的一顶端，具有一斜面倒角。

7.一种等离子体蚀刻机台，其特征在于，包含：

一上电极；

一下电极，具有多个第一开口与多个第二开口；

一升降装置，安装于该下电极的下方；以及

多个如权利要求1所述的顶出销，其特征在于，所述的顶出销安装于该升降装置上，且穿过所述第二开口，当该基板进行蚀刻时，该升降装置驱动所述顶出销降下，使该基板平置于该下电极之上，并覆盖所述第二开口，当所述顶出销顶起该基板时，该导电中心销接触该基板，以移除该基板上的残留静电。

8.如权利要求7所述的等离子体蚀刻机台，其特征在于，所述的第一开口为冷却气体的入口，以降低该基板的温度。

9.如权利要求8所述的等离子体蚀刻机台，其特征在于，所述的下电极在等离子体蚀刻时，还通入一预定电压，以产生静电吸附该基板。