[发明专利]一种太阳能硅片切割液有效
| 申请号: | 200910200314.5 | 申请日: | 2009-12-11 |
| 公开(公告)号: | CN102093925A | 公开(公告)日: | 2011-06-15 |
| 发明(设计)人: | 于昊;宫勇;兰育辉 | 申请(专利权)人: | 安集微电子(上海)有限公司 |
| 主分类号: | C10M169/04 | 分类号: | C10M169/04;C10M107/32;H01L21/304 |
| 代理公司: | 上海翰鸿律师事务所 31246 | 代理人: | 李佳铭 |
| 地址: | 201203 上海市浦东新区张江高*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 太阳能 硅片 切割 | ||
1.一种太阳能硅片切割液,含有聚乙二醇组分,分散剂,表面活性剂,消泡剂和鳌合剂。
2.根据权利要求1所述的切割液,所述的聚乙二醇组分由一种分子量的聚乙二醇组成。
3.根据权利要求1所述的切割液,所述的聚乙二醇组分由两种分子量不同的聚乙二醇组成。
4.根据权利要求2或3所述的切割液,所述的聚乙二醇的分子量为100-600。
5.根据权利要求1所述的切割液,所述的聚乙二醇组分的质量百分含量为60~95%。
6.根据权利要求1所述的切割液,所述的分散剂选自由丙烯酸、甲基丙酸酸、乙基丙烯酸、烯基磺酸、苯乙烯磺酸、马来酸酐、烷基丙烯氧基磺酸、丙烯酰胺基磺酸中的一种或多种为单体单元而得到的均聚物或共聚物中的一种或多种。
7.根据权利要求6所述的切割液,所述的均聚物或共聚物的分子量为600-5000。
8.根据权利要求1所述的切割液,所述的分散剂的质量百分含量为0.1~16%。
9.根据权利要求1所述的切割液,所述的表面活性剂为阴离子表面活性剂和/或阳离子表面活性剂。
10.根据权利要求9所述的切割液,所述的阴离子表面活性剂选自改性的硅氧烷和聚硅氧烷、烷基取代的苯磺酸碱金属盐、长链脂肪族硫酸盐的碱金属或长链脂肪族硫酸盐的非金属盐、自醇类和碱性酚所衍生的碱金属或自醇类和碱性酚所衍生的非金属醚硫酸盐、碱金属磺酸基琥珀酸盐或非金属磺酸基琥珀酸盐中的一种或多种。
11.根据权利要求9所述的切割液,所述的阴离子表面活性剂为具有12-25个碳原子的烷基二甲胺氧化物。
12.根据权利要求11所述的切割液,所述的烷基二甲胺氧化物具有水互溶性和/或可分散性。
13.根据权利要求11所述的切割液,所述的阴离子表面活性剂选自N,N-二甲基-1-十四烷胺氧化物、N,N-二甲基-1-十八烷胺氧化物、月桂酰肌胺酸钠、二苯醚磺酸盐、十六基二苯醚二磺酸、十二烷基二苯醚二磺酸、癸基二苯醚二磺酸的碱金属盐和/或癸基二苯醚二磺酸的非金属盐中的一种或多种。
14.根据权利要求9所述的切割液,所述的阴离子表面活性剂为C10-C18烷基苯磺酸盐。
15.根据权利要求9所述的切割液,所述的阳离子选自氯化硬脂基二甲基苄基铵、四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵和/或苄基三甲基氢氧化铵中的一种或多种。
16.根据权利要求1所述的切割液,所述的表面活性剂的质量百分含量为0.3~20%。
17.根据权利要求1所述的切割液,所述的消泡剂选自聚甲基硅氧烷、聚乙基硅氧烷、聚丙基硅氧烷、聚丁基硅氧烷、聚甲基乙基硅氧烷和/或聚二甲基硅氧烷中的一种或多种。
18.根据权利要求1所述的切割液,所述的消泡剂的质量百分含量为0.1~5%。
19.根据权利要求1所述的切割液,所述的鳌合剂为含有多个官能团的芳基化合物。
20.根据权利要求19所述的切割液,所述的鳌合剂选自苯二酚、邻巯基苯酚、邻羟基苯甲酸、连苯三酚和/或没食子酸中的一种或多种。
21.根据权利要求1所述的切割液,所述的鳌合剂的质量百分含量为0.5~4%。
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