[发明专利]光罩清洗方法

权利要求书

1.一种光罩清洗方法，当拆掉光罩上的光罩保护膜后，该方法包括：

在光罩上的光罩保护膜粘贴区域均匀喷洒指定溶液，并对喷洒有指定溶液的区域进行单方向擦拭，当目测光罩上不存在残胶时，停止擦拭；

依次利用臭氧水、去离子水、SC-1溶液和去离子水对光罩进行清洗；

对清洗后的光罩进行干燥处理。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述依次利用臭氧水、去离子水对光罩进行清洗之后，进一步包括：

利用纳米波长的深紫外灯对光罩进行照射；照射预定时长后，再次利用臭氧水对光罩进行清洗。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述利用纳米波长的深紫外灯对光罩进行照射的时长为8～12分钟；所述纳米波长的深紫外灯发出的紫外光的波长为172纳米。

4.根据权利要求1、2或3所述的方法，其特征在于，所述指定溶液为丙酮。

5.根据权利要求1、2或3所述的方法，其特征在于，所述对喷洒有指定溶液的区域进行单方向擦拭包括：

等待2～3分钟后，利用棉签对喷洒有指定溶液的区域进行单方向擦拭。

6.根据权利要求1、2或3所述的方法，其特征在于，所述臭氧水的浓度为80～90毫克/升；每次利用臭氧水进行清洗的时长为3～8分钟。

7.根据权利要求1、2或3所述的方法，其特征在于，每次利用去离子水进行清洗的时长为5～10分钟。

8.根据权利要求1、2或3所述的方法，其特征在于，所述利用SC-1溶液进行清洗的时长为3～5分钟。

9.根据权利要求1、2或3所述的方法，其特征在于，所述对清洗后的光罩进行干燥处理包括：

将清洗后的光罩固定在机台上，利用电机驱动机台旋转，利用旋转的离心力甩干水汽以及利用与空气的摩擦蒸发水汽，达到干燥的目的。

10.根据权利要求1、2或3所述的方法，其特征在于，在拆掉光罩上的光罩保护膜后的半小时内，在所述光罩保护膜粘贴区域均匀喷洒指定溶液。