[发明专利]一种用真空镀膜机制作自清洁玻璃的方法

权利要求书

1.一种用真空镀膜机制作自清洁玻璃的方法，其特征在于，包括以下步骤：

①对玻璃进行清洗、干燥，然后装在工件架上，将纯铝丝剪成一定长度装入位于真空室 内的第一组钨蒸发器中，将纯钛丝剪成一定长度装入位于真空室内的第二组钨蒸发器中；

②将工件架送入真空室，抽真空至≤10Pa；

③对真空室充氩气使真空度下降到10～40Pa，调节轰击电流至0.1～1A，对工件进行离子 轰击2～10分钟后，然后对真空室抽真空使真空度达到1×10^-2～4×10^-2Pa；

④对真空室充氧，使真空度达到5×10^-2～2×10^-1Pa，然后开启第一组钨蒸发器，调节蒸发 电流至600～1200A，蒸发铝丝，使铝蒸汽和氧气发生氧化反应，然后在玻璃表面镀上一层三 氧化二铝薄膜；

⑤关闭进氧阀门，继续对真空室抽真空使真空度达到2×10^-2～4×10^-2Pa，然后切换蒸发电 源至第二组钨蒸发器；

⑥对真空室充氧，使真空度达到5×10^-2～2×10^-1Pa，然后开启第二组钨蒸发器，调节电流 至800～1600A，蒸发钛丝，使钛蒸汽和氧气发生氧化反应，然后在三氧化二铝薄膜上再镀上 一层二氧化钛薄膜；

⑦关机，放气，取出工件；

⑧将镀膜玻璃置于烘箱内，加热至390至420℃，并保温10～15分钟，降温后得成品。

2.根据权利要求1所述的用真空镀膜机制作自清洁玻璃的方法，其特征在于，步骤②中 抽真空至3至8Pa。

3.根据权利要求1所述的用真空镀膜机制作自清洁玻璃的方法，其特征在于，步骤③中 调节的轰击电流为0.3～0.8A，离子轰击时间为4～8分钟。

4.根据权利要求1所述的用真空镀膜机制作自清洁玻璃的方法，其特征在于，步骤④中 第一组钨蒸发器蒸发铝丝的时间为5至30分钟。

5.根据权利要求1所述的用真空镀膜机制作自清洁玻璃的方法，其特征在于，步骤⑥中 第二组钨蒸发器蒸发钛丝的时间为5至30分钟。

6.根据权利要求1所述的用真空镀膜机制作自清洁玻璃的方法，其特征在于，步骤⑧加 热的温度为400℃。

7.权利要求1至6任一项所述的用真空镀膜机制作自清洁玻璃的方法，其特征在于，所 用到的玻璃原材料为白色浮法玻璃。