[发明专利]探测器装置

权利要求书

1.一种探测器装置，该探测器装置在设置于壳体内部的、 能够沿着水平面移动且能够升降的载置台上载置基板，使探测 卡的探头与基板上的电极焊盘接触而测定形成于基板的被检查 部的电特性，其特征在于，

包括：

下侧摄像部，设置在上述载置台的侧部，用于拍摄探测卡；

上侧摄像部，用于拍摄上述探测卡时在与上述载置台的移 动区域重合的位置拍摄上述载置台上的基板；

移动机构，用于使该上侧摄像部在拍摄上述基板时的上述 位置、与形成在上述移动区域的上方侧且脱离上述探测卡的位 置的退避区域之间移动，

上述退避区域是形成于上述壳体的顶板的凹部。

2.根据权利要求1所述的探测器装置，其特征在于，

上述移动机构包括使上侧摄像部水平移动的水平移动机 构。

3.根据权利要求1所述的探测器装置，其特征在于，

上述水平移动机构包括水平引导构件和被该水平引导构件 引导而水平移动的移动构件；

上述移动构件包括设置于上述移动构件的、用于使上述上 侧摄像部升降的升降机构。

4.根据权利要求2所述的探测器装置，其特征在于，

上述水平移动机构包括水平引导构件和被该水平引导构件 引导而水平移动的移动构件；

上述移动构件包括设置于上述移动构件的、用于使上述上 侧摄像部升降的升降机构。

5.根据权利要求1所述的探测器装置，其特征在于，

该探测器装置构成为使上述探测卡的探头与基板上的所有 电极焊盘一并接触。

6.根据权利要求2所述的探测器装置，其特征在于，

该探测器装置构成为使上述探测卡的探头与基板上的所有 电极焊盘一并接触。

7.根据权利要求3所述的探测器装置，其特征在于，

该探测器装置构成为使上述探测卡的探头与基板上的所有 电极焊盘一并接触。

8.根据权利要求4所述的探测器装置，其特征在于，

该探测器装置构成为使上述探测卡的探头与基板上的所有 电极焊盘一并接触。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的探测器装置，其特征 在于，

当假设在X、Y平面中上述上侧摄像部的上述退避区域相对 于上述探测卡位于向Y方向错位的位置时，上述上侧摄像部包 括沿X方向并列的第1摄像机及第2摄像机，上述下侧摄像部包 括对称地配置在通过载置台的基板载置区域的中心、且沿Y方 向延伸的线两侧的第1摄像机及第2摄像机。

10.根据权利要求9所述的探测器装置，其特征在于，

在上述上侧摄像部及上述下侧摄像部中，在上述上侧摄像 部的第1摄像机与第2摄像机之间设有第1目标，在上述下侧摄 像部的第1摄像机与第2摄像机之间设有第2目标，分别使上述 上侧摄像部的上述第1摄像机与上述下侧摄像部的上述第1摄 像机的焦点位置重合，使上述上侧摄像部的上述第2摄像机与 上述下侧摄像部的上述第2摄像机的焦点位置重合，

接着，通过由上述上侧摄像部拍摄上述第2目标来校正上 述上侧摄像部和上述下侧摄像部的位置，或者由上述下侧摄像 部拍摄上述第1目标来校正上述上侧摄像部和上述下侧摄像部 的位置。