[发明专利]角速度传感器

说明书

技术领域

本发明涉及检测旋转角速度的角速度传感器，特别是例如涉及用于照相机的手抖动检测装置或车导航系统等的角速度传感器。

背景技术

以往，作为相关的角速度传感器，例如有专利文献1中所记载的角速度传感器。该角速度传感器构成为具备：振荡器；驱动振荡器并检测角速度信号的内部电路；对构成振荡器和内部电路的部件进行固定并电连接这些部件的电路基板；和为了对固定在电路基板上的振荡器或内部电路进行机械/电气保护而密封的罩，该角速度传感器在外部端子取出由内部电路处理得到的输出信号。

并且，装配后的角速度传感器通过利用外部端子测量电气特性，进行产品的特性筛选。

专利文献1：日本特开2005-257615号公报

但是，所述以往的角速度传感器在直到成为成品为止的制造工序中，受到各种各样的机械性冲击或热应力等，虽然存在振荡器特性发生变化的情况，但是由于如上所述产品的特性筛选是利用经由内部电路引出的外部端子而进行的，因此不能直接检测振荡器自身的特性变化。

因此，例如，在角速度传感器的制造工序中振荡器发生了细小裂缝等的情况下，即使振荡器自身的特性发生变化，经由内部电路的输出信号多数情况下也不发生大的变化，存在难以准确筛选由振荡器的特性变化引起的潜在的不合格品的问题。

发明内容

因此，本发明的主要目的是：在电路基板上一体式密封振荡器与内部电路的角速度传感器中，在产品装配后，为能够检测经由内部电路的输出信号不能检测的振荡器的微小特性变化，准确筛选在制造过程中发生的振荡器的细小裂缝等不合格品，从而提高产品的可靠性。

为了解决所述课题，本发明的角速度传感器具备：

振荡器；

内部电路，其驱动所述振荡器，检测角速度信号；

电路基板，固定所述振荡器与构成所述内部电路的部件，电连接所述振荡器的各表面电极与构成所述内部电路的部件，并且具有用于取出角速度检测信号的外部电极，电连接所述内部电路的输出电极与所述外部电极；和

罩，为了覆盖所述电路基板的表面而被装载，密封固定在所述电路基板上的所述振荡器与所述内部电路，其中，

所述电路基板具有用于由所述罩密封所述振荡器与所述内部电路之后从外部检查所述振荡器的特性的振荡器检查用电极，电连接所述振荡器的各表面电极与所述振荡器检查用电极。

基于本发明，由于在电路基板上，除了设置取出由内部电路处理的输出信号的外部电极之外，还设置用于从外部检测振荡器的特性的振荡器检查用电极，并电连接振荡器的各表面电极与振荡器检查用电极，因此能够在电路基板上固定振荡器与内部电路并由罩密封后，直接测量振荡器的例如阻抗特性或频率特性等电气特性，在产品装配后，能够检测经由内部电路的输出信号不能检测的振荡器的微小特性变化，并能够准确筛选在制造过程中发生的振荡器的细小裂缝等不合格品。

另外，本发明的角速传感器也可配备为：所述振荡器检查用电极与所述振荡器的各表面电极相对应地设置在所述电路基板的背面，与所述振荡器的各表面电极相对应地设置的振荡器检查用电极的重心位置位于装配后的所述电路基板的背面重心位置附近。

基于本发明，由于配备振荡器检查用电极，使得在电路基板的背面与振荡器的各表面电极对应设置的振荡器检查用电极的重心位置位于装配后的电路基板的背面重心位置附近，因此为了检查振荡器的特性而使检查用探针与振荡器检查用电极接触时，能够抑制使电路基板旋转的转矩发生，能够防止检查用探针的接触不良并提高测量精度。

另外，本发明的角速度传感器可以在所述电路基板的同一面上设置所述振荡器检查用电极与所述外部电极。

基于本发明，由于将振荡器检查用电极与外部电极设置在电路基板的同一面上，因此能够同时进行基于振荡器检查用电极的振荡器的电气特性的检查与基于外部电极的产品的特性筛选，能够高效率地生产可靠性高的产品。

另外，本发明的角速度检测器也可以将所述振荡器检查用电极的重心位置配置在所述外部电极的重心位置的附近。

因此，即使进行基于振荡器检查用电极的振荡器的电气特性的检查与基于外部电极的产品的特性筛选的任一个时，另外即使同时进行基于振荡器检查用电极的振荡器的电气特性的检查与基于外部电极的产品的特性筛选时，也能够抑制使检查用探针接触时的电路基板的转矩的产生，能够防止检查用探针的接触不良并提高测量精度。