[发明专利]氯硅烷液的收纳容器及该收纳容器用封闭盖

权利要求书

1.一种氯硅烷液的收纳容器，其具有收纳所述氯硅烷液的箱、 安装在所述箱上并且外部的配管可装卸地连接到其上的阀、以及在所 述外部的配管从所述阀脱离时密封所述阀的封闭盖，其中，

所述阀具有壳以及设在所述壳中的阀体，所述壳具有连接法兰， 所述连接法兰具有用于连接所述外部的配管的连接面，

所述封闭盖具备：具有与所述连接法兰的所述连接面相接的封闭 面的盖体、用于将惰性气体供给至所述封闭盖和所述阀体之间的所述 壳内的空间中的供给管、开闭所述供给管的供给阀、从所述空间排出 气体的排气管和开闭所述排气管的排气阀。

2.权利要求1所述的氯硅烷液的收纳容器，其特征在于，具有： 夹在所述连接法兰的所述连接面和所述封闭盖的所述封闭面之间的 垫片、和形成于所述连接面及所述封闭面中的至少一者上的至少一个 环形槽。

3.一种氯硅烷液收纳容器用封闭盖，其以能够装卸的方式安装在 阀的连接法兰上，所述阀固定在收纳氯硅烷液的箱上，

所述氯硅烷液收纳容器用封闭盖具备具有与所述连接法兰的连 接面相接的封闭面的盖体、用于将惰性气体供给至所述封闭盖和所述 阀的阀体之间的空间中的供给管、开闭所述供给管的供给阀、从所述 空间排出气体的排气管、开闭所述排气管的排气阀，所述氯硅烷液收 纳容器用封闭盖通过将所述封闭盖固定在所述连接法兰上来密封所 述空间。