[发明专利]光致抗蚀剂组合物的制造方法、过滤装置及涂布装置

权利要求书

1.一种光致抗蚀剂组合物的制造方法，其特征在于具有使光致抗蚀剂组合 物通过设置有由孔径为0.04μm以下的尼龙膜组成的第1膜的第1过滤 器的工序，其中所述光致抗蚀剂组合物含有树脂成分A、由曝光产生酸 的酸产生剂成分B和有机溶剂C；

并且在使光致抗蚀剂组合物通过第1过滤器的工序之前或/和之后， 具有使所述光致抗蚀剂组合物通过第2过滤器的工序，所述第2过滤器 具有聚乙烯或聚丙烯制的第2膜，

所述树脂成分A具有衍生自具有酸离解性溶解抑制基的(甲基)丙 烯酸酯的结构单元a1、衍生自具有内酯环的(甲基)丙烯酸酯的结构单元 a2以及衍生自具有羟基和/或氰基的(甲基)丙烯酸酯的结构单元a3。

2.一种过滤装置，其特征在于是具有蓄留含有树脂成分A、由曝光产生酸 的酸产生剂成分B和有机溶剂C的光致抗蚀剂组合物的蓄留部分、和 使该光致抗蚀剂组合物通过的第1过滤部分和第2过滤部分的过滤装 置，上述第1过滤部分具有设置有由孔径为0.04μm以下的尼龙膜组成 的第1膜的第1过滤器，所述第2过滤部分具有第2过滤器且被设于所 述第1过滤部分的前面或/和后面，所述第2过滤器具有聚乙烯或聚丙 烯制的第2膜，所述树脂成分A具有衍生自具有酸离解性溶解抑制基 的(甲基)丙烯酸酯的结构单元a1、衍生自具有内酯环的(甲基)丙 烯酸酯的结构单元a2以及衍生自具有羟基和/或氰基的(甲基)丙烯酸 酯的结构单元a3。

3.安装有权利要求2所述的过滤装置的光致抗蚀剂组合物的涂布装置。