[发明专利]缺陷检测方法及装置

权利要求书

1.一种相位差缺陷检测装置，其用于在以十字尼科耳方式配置的第 一偏振片和第二偏振片之间配置相位差膜，且使所述第一偏振片的偏振方 向和所述相位差膜的迟相轴交叉的状态下，检测所述相位差膜的缺陷，其 特征在于，具有：

光接收部，其具有线状排列的多个像素，在所述相位差膜的宽度方向 上进行扫描并输出时间序列的输出信号；

微分处理部，其对所述输出信号进行微分处理；

极值信号检测部，其在由所述微分处理部得到的微分处理信号中检测 出在规定像素范围内辉度值最大的极大信号和在规定像素范围内辉度值 最小的极小信号；

差分值计算部，其求得预先设定的且每次进行缺陷检测按照顺序更新 的基准信号的辉度值与所述极大信号的辉度值的差作为第一差分值，并且 求得所述基准信号的辉度值与所述极小信号的辉度值的差作为第二差分 值；

加法运算部，其求得将第一差分值和第二差分值相加得到的相加值； 以及

相位差缺陷信号确定部，其在所述相加值为一定值以上时，将由所述 极值信号检测部检测出的极大信号和极小信号确定为相位差缺陷信号。

2.如权利要求1所述的相位差缺陷检测装置，其特征在于，

所述第一偏振片和所述第二偏振片按照彼此的偏振方向正交的方式 配置，

所述相位差缺陷检测装置还具有：向位于所述第一偏振片和所述第二 偏振片之间的所述相位差膜照射光的光照射部。

3.如权利要求1或2所述的相位差缺陷检测装置，其特征在于，

所述第一偏振片和所述第二偏振片的偏振方向相对于所述相位差膜 的迟相轴成45°的方向。

4.一种相位差缺陷检测方法，其在以十字尼科耳方式配置的第一偏 振片和第二偏振片之间配置相位差膜，且使所述第一偏振片的偏振方向和 所述相位差膜的迟相轴交叉的状态下，检测所述相位差膜的缺陷，包括：

利用具有线状排列的多个像素的光接收部在所述相位差膜的宽度方 向进行扫描而得到时间序列的输出信号的工序；

对所述输出信号进行微分处理的工序；

在实施了所述微分处理的所述输出信号中，检测出在规定像素范围内 辉度值最大的极大信号和在规定像素范围内辉度值最小的极小信号的工 序；

求得预先设定的且每次进行缺陷检测按照顺序更新的基准信号的辉 度值与所述极大信号的辉度值的差作为第一差分值、并且求得所述基准信 号的辉度值与所述极小信号的辉度值的差作为第二差分值的工序；

求得将第一差分值和第二差分值相加得到的相加值的工序；以及

在所述相加值为一定值以上时、将所述极大信号和极小信号确定为相 位差缺陷信号的工序。