[发明专利]吸振平台结构及具有其的高架地板结构

说明书

技术领域

本发明涉及一种用以承载设备的平台结构，特别是涉及一种吸振平台结构及具有其的高架地板结构。

背景技术

在制作工艺逐渐迈向纳米等级解析度的今日，无论在电子或半导体产业，多数制程及检测设备对于环境微振动相当敏感，在抑制环境振动的要求上将更为严苛。由于在不良的微振动环境下，常会造成仪器的误动作或者测量的结果难以判读，所以这些制程及检测设备的承载平台必须要具备优良的动态特性，使得无论是由环境传来的振动或者是承载平台所承载的设备本身所产生的振动，在运作的频宽范围能有效的被消除。

传统的承载平台材料或结构一般分为花岗岩(granite)、蜂巢状平台(honeycomb table)以及钢筋混凝土结构(reinforced concrete structure)的平台。花岗岩的平台可提供较佳的结构稳定性，但是由于材质的关系，使得平台结构的重量较重。蜂巢状平台相较之下虽然质轻，但是因为结构有一定的复杂度，造成在制造及组装程序上的困难，目前只适用于高单价的光学桌。钢筋混凝土结构的平台，其重量介于以上两者之间，但是其动态特性较以上两者均差。

半导体或光电制程相关的厂房环境多为采用格栅状的钢筋混凝土结构配合高架地板，高架地板也为一种承载平台结构，但大多不具隔振能力，其主要的功能为借由高架地板提供一个空间让设备的管路行走，不至于使操作人员的动线与管路的动线相互影响，也同时提供无尘室中洁净回风的透气功能。但是人员的活动以及运输设备产生的振动往往会经由高架地板结构的放大而进入厂房结构，进而传入厂房内的各个角落，影响该环境中其他精密制程及检测仪器的可靠度。

发明内容

本发明的目的在于提供一种吸振平台结构及具有其的高架地板结构，其提供的高阻尼的结构，可抑制环境传来的振动及平台上设备本身所产生的振动，从而解决现有的高架地板的最初设计并未以抑制振动噪音为诉求，面对近来光电产业中大尺寸面板的搬运设备或机器手臂所产生的巨大振动往往通过其支撑的高架地板结构传到厂房的四周，影响到周遭的精密制程及检测设备的问题，例如曝光机、涂布机以及面板缺陷检查设备。此外，也解决了一般的光学桌采用的蜂巢状结构的隔振设计，其结构复杂，不但单一构件制造困难，也难以组装拆卸，甚至需要很大的空间才能架设，造成在设备维护上极为麻烦的问题。

为了实现上述目的，本发明提供了一种高架地板结构，包括有一吸振平台结构及一支撑结构。吸振平台结构包括有一底板，具有一支撑架结合面；一上盖板，位在底板上方位置，并与底板之间保持一预定高度距离，而定义出一吸振缓冲空间；一阻尼吸振垫材层，位于底板与上盖板间的吸振缓冲空间中。

支撑结构包括有多支支撑构件，结合于吸振平台结构的底板的支撑架结合面与一基础结构体之间，用以支撑吸振平台结构，并使吸振平台结构的底板的支撑架结合面与基础结构体之间形成一高架空间。

在本发明的第一实施例中，支撑构件包括有一支撑管架、一水平调整管件、一支撑盘及一补强套件。其中支撑管架具有一固定座及一套合槽，固定座使支撑构件固定在基础结构体上；水平调整管件具有一套合杆，套合于支撑管架的套合槽中；支撑盘设置在水平调整管件上方，用以支撑吸振平台结构；补强套件则套合于水平调整管件的套合杆。

为了实现上述目的，本发明还提供了一种吸振平台结构，其包括：一底板，设置在一基础结构体上；一上盖板，位在该底板上方位置，并与该底板之间保持一预定高度距离，而定义出一吸振缓冲空间；一阻尼吸振垫材层，位于该底板与该上盖板间的吸振缓冲空间中。

经由本发明所采用的技术手段，可以使得吸振平台结构及具有其的高架地板结构的抑制振动能力，符合承载精密设备的振动标准，在一定的频宽范围内不会放大振动及延长振动，有效减少机台的故障发生率，从而提升产品的优良率。

和一般光学桌的蜂巢状结构相比，本发明的各构件在几何形状上十分单纯，不会造成在制造上的负担。由于各构件的形状易于统一，可进行规格化的量产，降低生产成本。在零件的更换取代上，像是内部的阻尼吸振垫片，即可因应不同的吸振需求，以不同材料或不同形状的更换，且更换十分方便。而在材料搬运与平台的组装上，也因构件的单纯化及模组化，搬运时可以拆零的方式来减小体积，施工时也因此而变得更加快速容易，减少受环境干扰的机会。

针对实验室中的小型精密设备，可单独使用本发明所提供的吸振平台结构，利用将上盖板适当的增加重量并在表面钻定位螺孔，即可作为一般实验室内小型桌上用的精密仪器设备隔振底座，例如光学测量系统或是微纳米检测所需的原子力显微镜，或者半导体厂房中需要的制振型高架地板结构。