[发明专利]聚合物和含有该聚合物的化学放大型抗蚀剂组合物

权利要求书

1.一种聚合物，所述聚合物包含：

由式(Ia)或(Ib)表示的结构单元，

其中R¹表示氢原子或甲基，R²表示直链、支链或环状C1-C8烷基，R³表示甲基，n表示0至14的整数，Z¹表示单键或-[CH₂]_k-COO-，k表示1至4的整数，R⁴和R⁵各自独立地表示氢原子或可以具有至少一个杂原子的C1-C8一价烃基，或者R⁴和R⁵可以结合以形成可以具有至少一个杂原子的C1-C8二价烃基，所述C1-C8二价烃基可以与R⁴和R⁵所键合的相邻碳原子一起形成环，或者R⁴和R⁵可以结合以在R⁴所键合的碳原子和R⁵所键合的碳原子之间形成碳-碳双键，并且m表示1至3的整数，

由式(II)表示的结构单元，

其中R⁶和R⁷各自独立地表示氢原子、甲基或羟基，R⁸表示甲基，R⁹表示氢原子或甲基，Z²表示单键或-[CH₂]_k’-COO-，k’表示1至4的整数，Z’表示能够通过酸的作用而消除的基团，以及

由式(III)表示的结构单元，

其中R¹⁰在每种情况下都独立地为羧基、氰基或C1-C4烃基，R¹¹表示氢原子或甲基，1’表示0至3的整数，Z³表示单键或-[CH₂]_k”-COO-，并且k”表示1至4的整数。

2.根据权利要求1所述的聚合物，其中所述通过酸的作用而离去的基团为叔烷基氧基羰基。

3.根据权利要求1所述的聚合物，其中所述聚合物还包含由式(IVf)表示的结构单元：

其中R¹²表示氢原子或甲基，R¹³和R¹⁴各自独立地表示氢原子、甲基或羟基，R¹⁵表示甲基，n”表示0至12的整数，Z⁴表示单键或-[CH₂]_q’-COO-基团，并且q’表示1至4的整数。

4.根据权利要求1或权利要求3所述的聚合物，其中所述聚合物还包含由式(IVa)、(IVb)、(IVc)、(IVd)或(IVe)表示的结构单元：

其中R¹⁷表示氢原子或甲基，R¹⁸表示甲基，R¹⁹在每种情况下都独立地表示羧基、氰基或C1-C4烃基，j表示0至3的整数，a表示0至5的整数，b表示0至3的整数，c表示0至(2j+2)的整数，Z⁵表示单键或-[CH₂]_q”-COO-基团，并且q”表示1至4的整数。

5.一种化学放大型抗蚀剂组合物，所述化学放大型抗蚀剂组合物包含根据权利要求1至4中任一项所述的聚合物以及酸生成剂。

6.根据权利要求5所述的化学放大型抗蚀剂组合物，其中所述酸生成剂是由式(V)表示的盐：

其中Y¹和Y²各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，R²¹表示C1-C6直链或支链烃基或C3-C30单环或多环烃基，所述C1-C6直链或支链烃基或C3-C30单环或多环烃基可以被选自由C1-C6烷基、C1-C6烷氧基、C1-C4全氟烷基、羟基和氰基组成的组中的至少一个取代，并且在所述烃基中的至少一个-CH₂-可以被-CO-或-O-取代，或者在所述烃基中的至少一个氢原子可以被羟基取代，并且A⁺表示有机抗衡离子。