[发明专利]一种滑轮支架及其利用此滑轮支架的线锯装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种滑轮支架及其利用此滑轮支架的线锯装置，属于线锯(wire saw)装置领域。

背景技术

目前，线锯装置广泛应用于各个领域。日本生产的NTC442型线锯装置是一种在半导体生产领域经常使用的一种线锯装置。在此线锯装置中，是利用很多的导线滑轮完成对线的导向。如图1所示，图1是现有技术中线锯装置的导线滑轮的固定方式示意图，也就是滑轮支架的设置方式示意图。图1包括图1a、图1b和图1c。图1a是现有技术中线锯装置的导线滑轮的固定方式的俯视图。图1b是现有技术中线锯装置的导线滑轮的固定方式的主视图。图1c是现有技术中线锯装置的导线滑轮的固定方式的立体示意图。在固定板1上固定连接着支撑架2，支撑架2上活动连接有导线滑轮3。支撑架2和导线滑轮3的连接方式如图2所示，图2是图1a中A-A向的视图。如图2所示，在支撑架2设置导槽型孔201，螺钉202通过导槽将支撑架2和导线滑轮3连接，并且导线滑轮3在横向上是可以根据实际情况而进行调整的。如图3所示，在线锯装置工作过程中，钢线4通过导轮滑轮3，导线滑轮3上的钢线4的方向由导线滑轮3和外力的方向决定，图3中的外力的方向是垂直向下的，这样是一种比较理想的工作状态。在图3中，钢线4的主要受力方向为垂直向下的，钢线4只受拉伸的力。而在线锯装置工作过程中，由于线锯装置的长期使用等原因，也可能出现如图4所示的情况，在图4中，钢线4不仅收到拉伸的力而且还受到剪切的力，众所周知，剪切力和拉伸力复合应力的结合对钢线的破坏是很大的，所以容易出现断线的情况，断线情况的出现将使得整锯停工，并有可能使得整锯报废。

发明内容

针对上述缺陷，本发明解决的技术问题在于，提供一种滑轮支架，该滑轮支架可以在调节导线滑轮上钢线的方向，使得钢线的受力更加合理。

为了解决以上的技术问题，本发明提供一下的技术方案：

一种滑轮支架，用于线锯装置，包括固定装置、支撑架和导线滑轮，所述支撑架固定在所述固定装置上，所述导线滑轮设置在所述支撑架上，所述支撑架与所述导线滑轮之间设置有可变向垫块。

本发明所提供的滑轮支架，通过在所述支撑架与所述导线滑轮之间设置可变向垫块，使得滑轮支架上的导线滑轮能够调节方向，从而可以调节导线滑轮上的钢线的方向，使得钢线的方向与其所受外力的方向一致，在钢线的受力更加合理，钢线也不易断裂，从而可以提高钢线的使用寿命，最重要的是能够保证生产的持续进行，甚至可以提高利用此滑轮支架的线锯装置的寿命。

优选地，所述支撑架通过焊接方式固定在所述固定装置上。

优选地，所述导线滑轮与所述支撑架通过穿孔螺钉连接。

优选地，所述穿孔螺钉的个数为两个或者两个以上。

优选地，所述支撑架上和所述导线滑轮上有导槽型孔，所述穿孔螺钉穿过所述导槽型孔。

优选地，所述支撑架的长度为200mm(毫米)以上，所述导槽型孔的长度为185mm以上。

优选地，所述固定装置为板状固定装置。

本发明还提供一种线锯装置，包括上述的滑轮支架。

优选地，所述滑轮支架固定在线锯装置的侧壁上。

与现有技术相比，本发明所提供的滑轮支架，通过在所述支撑架与所述导线滑轮之间设置可变向垫块，使得滑轮支架上的导线滑轮能够调节方向，从而可以调节导线滑轮上的钢线的方向，使得钢线的方向与其所受外力的方向一致，在钢线的受力更加合理，钢线也不易断裂，从而可以提高钢线的使用寿命，最重要的是能够保证生产的持续进行，甚至可以提高利用此滑轮支架的线锯装置的寿命。

本发明提供的可调滑轮支架，特别适合应用于线锯装置。

附图说明

图1a是现有技术中线锯装置的导线滑轮的固定方式的俯视图。

图1b是现有技术中线锯装置的导线滑轮的固定方式的主视图。

图1c是现有技术中线锯装置的导线滑轮的固定方式的立体示意图。

图2是图1中A-A向的视图。

图3是现有技术中线锯装置工作过程中理想钢线的工作状态图。

图4是现有技术中线锯装置工作过程中出现偏差的钢线的工作状态图。

图5是实施例1提供的滑轮支架的俯视图。

图6是实施例1提供的滑轮支架的工作原理图。

图6a是实施例1中滑轮支架调整前的工作状态图。

图6b是实施例1中滑轮支架调整后的工作状态图。

图7是实施例1中可变向垫块的具体设置方式。

图中各标记为：