[发明专利]薄膜太阳能电池沉积层边缘除料方法无效
| 申请号: | 200910130063.8 | 申请日: | 2009-04-03 |
| 公开(公告)号: | CN101853896A | 公开(公告)日: | 2010-10-06 |
| 发明(设计)人: | 王祥亨 | 申请(专利权)人: | 神威光电股份有限公司;王祥亨 |
| 主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
| 代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇;王璐 |
| 地址: | 中国台*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 薄膜 太阳能电池 沉积 边缘 方法 | ||
技术领域
本发明涉及一种薄膜太阳能电池沉积层边缘除料方法,特别涉及一种通过利用超声波刀具将薄膜太阳能电池的沉积层边缘去除的方法。
背景技术
薄膜太阳能电池是在塑胶、玻璃或金属的基板上沉积出一层具有导电性的沉积层,沉积层大致包括一透明导电膜(TCO膜)、一P-I-N硅薄膜以及一背接触膜,且每层沉积膜均需切割出适当距离的独立电池区块(cell),以形成可产生光电效应的薄膜。在上述沉积层沉积完毕后,须去除沉积层位于基板边缘的区域,以避免在后续封框组装时产生短路现象,此去除沉积层边缘区域的制程称为边缘去除(Edge Deletion)。
现有进行边缘去除的方式是通过喷砂或激光热熔进行,然而,喷砂由于比较容易造成碎屑或粉尘残留在电池区块之间的缝隙中或薄膜太阳能电池上,清除不易,而激光热熔则是速度较慢且成本较高。
发明内容
因此,针对前述利用喷砂容易使碎屑或粉尘残留在电池区块的问题,以及利用激光热熔容易有速度较慢且成本较高的问题,本发明提供一种薄膜太阳能电池沉积层边缘除料方法,可减少加工碎屑、粉尘残留,且成本较低、加工速度较快。
本发明所述的薄膜太阳能电池沉积层边缘除料方法,通过利用一超声波刀具沿该薄膜太阳能电池的基板边缘进给,将该薄膜太阳能电池邻近基板边缘的沉积层去除。
本发明所述的薄膜太阳能电池沉积层边缘除料方法,驱动该超声波刀具进行除料之前,先利用一遮罩覆盖该沉积层并且使该沉积层欲去除的边缘区域露出。
本发明所述的薄膜太阳能电池沉积层边缘除料方法,当该超声波刀具受驱动进给除料时,同时于该超声波刀具周围进行抽气,以将该沉积层的碎屑抽离。
本发明所述的薄膜太阳能电池沉积层边缘除料方法,当该超声波刀具将该薄膜太阳能电池位于基板边缘的沉积层去除后,利用超声波震动将残留于该薄膜太阳能电池的碎屑、粉尘震除。
本发明所述的薄膜太阳能电池沉积层边缘除料方法,该超声波刀具受驱动以铣削、切削或磨削的方式进给。
本发明所述的薄膜太阳能电池沉积层边缘除料方法,当该超声波刀具受驱动进给时,同时驱动该超声波刀具绕自身中心旋转。
本发明的有益效果在于:通过利用超声波刀具对薄膜太阳能电池沉积层边缘进行除料作业,相较于以往喷砂的方式,可减少碎屑、粉尘残留,而相较于利用激光加工的方式,不仅加工速度较快,成本也比较低廉。
附图说明
图1是一薄膜太阳能电池的结构示意图。
图2是依据本发明薄膜太阳能电池沉积层边缘除料方法所使用的一除料设备示意图。
图3是依据本发明薄膜太阳能电池沉积层边缘除料方法的一个较佳实施例的步骤流程图。
图4是依据本发明的除料方法的较佳实施例中,将遮罩覆盖于薄膜太阳能电池沉积层上的示意图。
图5是依据本发明的除料方法的较佳实施例中,利用超声波刀具进行除料的示意图。
图6是依据本发明的除料方法的较佳实施例中,利用超声波刀具进行除料并且同时抽气的侧视示意图。
图7是依据本发明的除料方法的较佳实施例中,利用另一种结构的超声波刀具进行除料的示意图,且图7中并未画出罩体。
图8是依据本发明的除料方法的较佳实施例中,利用又一种结构的超声波刀具进行除料的示意图,且图8中并未画出罩体。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本发明进行详细说明。
参阅图1,本发明薄膜太阳能电池沉积层边缘除料方法用以将薄膜太阳能电池1的沉积层12位于基板11边缘的区域(如图1所示的假想线区块)切除。一般薄膜太阳能电池1包括一基板11以及沉积于基板11的一沉积层12,以下实施例所指的沉积层12大致包括一透明导电膜(TCO膜)、一P-I-N薄膜以及一背接触膜,但本发明可加工的薄膜太阳能电池并不以此态样为限,主要是将基板11上方并且位于基板11边缘的导电材料去除,使导电材料的边缘偏移(offset)入基板11的边缘内侧,避免薄膜太阳能电池1在后续封框组装时容易发生短路现象。
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