[发明专利]探针卡的倾斜调整方法和探针卡的倾斜检测方法

权利要求书

1.一种探针卡的倾斜调整方法，其特征在于：

该探针卡的倾斜调整方法在将探针卡安装在探针装置上之后，对 所述探针卡的倾斜进行调整，使得载置被检查体的能够移动的载置台 的载置面与所述探针卡平行，其包括：

第一工序，使用针尖位置检测装置在所述探针卡的多个场所检测 出多个探针的平均针尖高度；

第二工序，根据所述多个场所各自的多个探针的平均针尖高度的 高低差求出所述探针卡相对于所述载置台的倾斜；和

第三工序，对所述探针卡的倾斜进行调整，

所述针尖位置检测装置被设置在所述载置台上、并且包括用于检 测所述多个探针的针尖高度的传感器部和属于该传感器部的能够移动 的接触体，

所述第一工序包括：

通过所述载置台移动所述针尖位置检测装置，使所述接触体与所 述多个探针的针尖接触的工序；

通过所述载置台的进一步移动使所述接触体向所述传感器部一侧 移动的工序；和

检测出所述接触体开始移动的位置作为所述多个探针的平均针尖 高度的工序。

2.如权利要求1所述的探针卡的倾斜调整方法，其特征在于：

在所述第一工序中，检测出所述探针卡的互相分开的多个场所的 多个探针的平均针尖高度。

3.如权利要求1或2所述的探针卡的倾斜调整方法，其特征在于：

所述第三工序基于求得的探针卡的倾斜反复进行所述第一工序和 所述第二工序。

4.一种探针卡的倾斜检测方法，其特征在于：

该探针卡的倾斜检测方法在将探针卡安装在探针装置上之后，对 所述探针卡相对于载置台的倾斜进行调整，使得载置被检查体的能够 移动的所述载置台的载置面与所述探针卡平行，其包括：

第一工序，使用针尖位置检测装置分别检测出位于所述探针卡的 多个场所的多个探针的平均针尖高度；和

第二工序，求出所述多个场所各自的所述多个探针的平均针尖高 度的高低差，

所述针尖位置检测装置被设置在所述载置台上，并且包括用于检 测所述多个探针的针尖的传感器部和属于该传感器部的能够移动的接 触体，

所述第一工序包括：

通过所述载置台移动所述针尖位置检测装置，使所述接触体与所 述多个探针的针尖接触的工序；

通过所述载置台的进一步移动使所述接触体向所述传感器部一侧 移动的工序；和

检测出所述接触体开始移动的位置作为所述多个探针的平均针尖 高度的工序。

5.如权利要求4所述的探针卡的倾斜检测方法，其特征在于：

在所述第一工序中，检测出所述探针卡的互相分开的多个场所的 多个探针的平均针尖高度。