[发明专利]一种化学镀铜溶液

权利要求书

1.一种化学镀铜溶液，其包括以下组分，用浓度表示：

铜盐5-20g/L、甲醛5-15mL/L、络合剂25-65g/L、pH调节剂8-20g/L、pH缓冲剂5-20g/L、聚乙二醇0.05-1g/L、2-2交联吡啶10-60mg/L、2-巯基苯并咪唑1-20mg/L、亚铁盐0.05-1g/L、甲醇5-50mL/L。

2.如权利要求1所述的化学镀铜溶液，其特征在于：所述络合剂为酒石酸钾钠和乙二胺四乙酸二钠。

3.如权利要求2所述的化学镀铜溶液，其特征在于：所述酒石酸钾钠的浓度为5-25g/L，所述乙二胺四乙酸二钠的浓度为20-40g/L。

4.如权利要求1所述的化学镀铜溶液，其特征在于：所述聚乙二醇的平均分子量为300-1000。

5.如权利要求1所述的化学镀铜溶液，其特征在于：所述pH调节剂为NaOH，所述pH缓冲剂为Na₂CO₃。

6.如权利要求1所述的化学镀铜溶液，其特征在于：所述亚铁盐为FeSO₄。

7.如权利要求1所述的化学镀铜溶液，其特征在于：所述甲醇的浓度为10-20mL/L。

8.如权利要求1所述的化学镀铜溶液，其特征在于：所述2-巯基苯并咪唑的浓度为2-5mg/L。

9.如权利要求1所述的化学镀铜溶液，其特征在于：所述化学镀铜溶液包括以下组分，以及浓度表示：

CuSO₄ 5-15g/L、甲醛5-15mL/L、酒石酸钾钠5-25g/L、乙二胺四乙酸二钠20-40g/L、NaOH 8-20g/L、Na₂CO₃ 5-20g/L、聚乙二醇0.05-1g/L、2-2交联吡啶10-60mg/L、2-巯基苯并咪唑2-5mg/L、FeSO₄ 0.05-1g/L、甲醇10-20mL/L。