[发明专利]一种金属化学机械抛光的浆料及其使用方法

权利要求书

1.一种金属化学机械抛光浆料，包含：研磨颗粒，氧化剂，抛光稳定剂和载体。

2.如权利要求1所述抛光浆料，其特征在于，所述研磨颗粒的质量百分比浓度为0.1～10％，所述氧化剂的质量百分比浓度为0.1～2％，所述抛光稳定剂的质量百分比浓度为0.01～2％。

3.如权利要求1所述抛光浆料，其特征在于，所述研磨颗粒选自氧化硅、氧化铝、氧化铈和聚合物颗粒中的一种或多种。

4.如权利要求3所述抛光浆料，其特征在于，所述聚合物颗粒为聚乙烯或聚四氟乙烯。

5.如权利要求1所述抛光浆料，其特征在于，所述研磨颗粒的尺寸为20～200nm。

6.如权利要求6所述抛光浆料，其特征在于，所述研磨颗粒的尺寸为30～100nm。

7.如权利要求1所述抛光浆料，其特征在于，所述氧化剂选自Ag，Co，Cr，Cu，Fe，Mo，Mn，Nb，Ni，Os，Pd，Ru，Sn，Ti，Ce和V的盐类中的一种或多种。

8.如权利要求1所述抛光浆料，其特征在于，所述稳定剂选自有机酸，无机酸和金属络合剂中的一种或多种。

9.如权利要求1所述抛光浆料，其特征在于，所述抛光浆料还可包含选自硝酸、硝酸盐，有机过氧化物、其它有机氧化剂、表面活性剂、pH稳定剂，抑制剂和杀菌剂中的一种或多种。

10.如权利要求1～9所述的化学机械抛光浆料的使用方法，其特征在于，以下压力1-5psi，头转速为70-110rpm，抛光盘转速70-110rpm，所述抛光浆料流速50-120ml/min进行化学机械抛光。