[发明专利]一种远心测量装置及方法

权利要求书

1.一种远心测量装置，其特征在于包括：

全息光学元件，全息光学元件是由球面波与参考平面波发生干涉后产生；

进光孔，位于所述全息光学元件一侧的焦面上；

光电传感器，位于所述全息光学元件另一侧的焦面上；

数据处理系统，和所述光电传感器相连。

2.根据权利要求1所述一种远心测量装置，其特征在于所述进光孔被放置于一照明场平面内。

3.根据权利要求1所述一种远心测量装置，其特征在于所述光电传感器为电荷耦合器件或者位置传感器。

4.根据权利要求1所述一种远心测量装置，其特征在于所述远心测量装置和一控制台相连，由所述控制台控制所述远心测量装置的运动。

5.根据权利要求1所述一种远心测量装置，其特征在于所述进光孔形状为圆形、椭圆形或者方形。

6.一种远心测量方法，其特征在于包括：

光照射进光孔产生点光源；

所述点光源射到全息光学元件上后以平行光出射；

所述平行光射到一光电传感器上；

数据处理系统接收所述光电传感器上的信号并计算所述点光源的远心值，其中，全息光学元件是由球面波与参考平面波发生干涉后产生，进光孔位于全息光学元件一侧的焦面上，光电传感器位于全息光学元件另一侧的焦面上。

7.根据权利要求6所述一种远心测量方法，其特征在于所述进光孔放置于照明场平面内。

8.根据权利要求7所述一种远心测量方法，其特征在于还包括一步进扫描过程，测量装置在所述照明场平面内步进扫描多个点的位置，测量多个点的远心值。

9.根据权利要求6所述一种远心测量方法，其特征在于所述光电传感器为电荷耦合器件或者位置传感器。

10.根据权利要求6所述一种远心测量方法，其特征在于整个远心测量装置和一控制台相连，由所述控制台控制所述远心测量装置的运动。

11.根据权利要求6所述一种远心测量方法，其特征在于所述进光孔形状为圆形、椭圆形或者方形。