[发明专利]一种熔钛用坩埚及其制造方法无效
| 申请号： | 200910046508.4 | 申请日： | 2009-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN101493284A | 公开（公告）日： | 2009-07-29 |
| 发明（设计）人： | 王小康;孔浡;毛协民;李重河 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | F27B14/10 | 分类号： | F27B14/10;C22B34/12;C23C28/00;C23C10/44;C23C4/06;C23C4/10 |
| 代理公司： | 上海上大专利事务所（普通合伙） | 代理人： | 顾勇华 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 熔钛用 坩埚 及其 制造 方法 | ||
1、一种熔钛用坩埚，其特征在于：该坩埚为石墨坩埚的内表面有一复合涂层，该复合涂层为内层、过渡梯度涂层和外层三层结构，内层为SiC薄层，过渡层由高温稳定化合物氧化钇、锆酸钙或硫化铈中的一种与难熔金属钨、钼或钽中的一种组成，外层为高温稳定化合物氧化钇、锆酸钙或硫化铈中的一种。
2、一种用于权利要求1所述的熔钛用坩埚的制造方法，其特征在于该方法的工艺过程如下：将加工好的石墨坩埚的内表面进行超声波净化处理，再在900～1100℃下进行高温热处理0.5～1小时；然后石墨坩埚包埋在硅粉末中进行表面高温渗硅处理，形成致密SiC内层；用热喷涂法(激光熔覆、离子体喷涂等)将难熔金属钨、钼或钽中的一种与高温稳定化合物氧化钇、锆酸钙或硫化铈中的一种的混合物喷涂在内层上形成过渡梯度涂层；并将高温稳定化合物氧化钇、锆酸钙或硫化铈中的一种喷涂在过渡梯度涂层上形成外层；最后坩埚在氩气保护下在1100～1300℃进行0.5～1小时热处理，形成牢固致密并具有良好的抗热震性的复合涂层。
3、如权利要求2所述的制造方法，其特征在于所述的过渡梯度涂层是由高温稳定化合物氧化钇、锆酸钙或硫化铈中的一种的粉末与难熔金属钨、钼或钽中的一种的粉末以不同质量比混合并用热喷涂法(激光熔覆、离子体喷涂等)制备的亚三层，从内向外，以高温稳定化合物与难熔金属质量比计，第一亚层为1∶3，第二亚层为1∶1，第三亚层为3∶1。
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