[发明专利]编码微球的制备方法有效
| 申请号： | 200910026137.3 | 申请日： | 2009-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN101543755A | 公开（公告）日： | 2009-09-30 |
| 发明（设计）人： | 李炯;鲍芳;郑克孝;曹榕 | 申请（专利权）人： | 苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | B01J13/02 | 分类号： | B01J13/02 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 | 代理人： | 陈忠辉 |
| 地址： | 215125江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 编码 制备 方法 | ||
1.编码微球的制备方法，其特征在于包括步骤：
步骤一：在衬底上涂覆牺牲层，用于微球制备完成后与衬底分离；
步骤二：在牺牲层表面采用生长或沉积工艺制备单层或多层复合的微球材料层；
步骤三：对微球材料层进行光阻涂布、光显影、刻蚀、清洗的半导体微加工制程，在微球材料层生成编码的微图案或阵列；
步骤四：对生成编码的微球材料层按制备要求的微球尺寸再次光刻，并清洗去除微球轮廓以外的微球材料层；
步骤五：选取对牺牲层具有溶解性的液剂，将夹有牺牲层的衬底及编码微球浸没于液剂中，释放出编码各异的微球悬浮在液剂中。
2.根据权利要求1所述的编码微球的制备方法，其特征在于：所述微球材料层的组分包括聚合物、半导体材料、金属中的一种或由几种这些材料形成的复合物。
3.根据权利要求2所述的编码微球的制备方法，其特征在于：所述微球材料层的组分为二氧化硅、氮化硅或者二者的复合物。
4.根据权利要求1所述的编码微球的制备方法，其特征在于：所述步骤三中微球上的微图案是通过位置、形状、大小、方向或数量这些差别性特征进行编码的。
5.根据权利要求1所述的编码微球的制备方法，其特征在于：所述步骤三中微球上的阵列是通过排布方式的差异进行编码的。
6.根据权利要求1所述的编码微球的制备方法，其特征在于：所述步骤五中对于以光刻胶作为牺牲层的情况，所述液剂选为丙酮溶液。
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