[发明专利]远心透镜光学系统及图像测定装置

权利要求书

1.一种远心透镜光学系统，该远心透镜光学系统包括前侧 透镜组、前侧焦点与上述前侧透镜组的后侧焦点重合地配置的 后侧透镜组、和配置在上述前侧透镜组的后侧焦点与上述后侧 透镜组的前侧焦点重合的位置的光圈机构，其特征在于，

上述前侧透镜组及上述后侧透镜组中的一方由倍率不同的 多组变倍透镜组构成；

上述光圈机构分别与上述各变倍透镜组相对应地设置；

包括可选择地将这些变倍透镜组及与其相对应的光圈机构 中的任一对成对的变倍透镜组和光圈机构切换到上述前侧透镜 组及上述后侧透镜组中的另一方的光轴上的倍率切换机构；

上述倍率切换机构包括滑板、使该滑板能够沿与上述前侧 透镜组及上述后侧透镜组中的另一方的光轴大致正交的方向滑 动地支承上述滑板的引导机构、和滑动操作上述滑板的倍率切 换操作部；

在上述滑板上，沿着上述滑动方向排列配置多对成对的上 述变倍透镜组及与其相对应的光圈机构；

上述各光圈机构包括配置在上述前侧透镜组及上述后侧透 镜组中的另一方的光轴上的第1光圈、以中间部分可摆动且前 端可自上述第1光圈的位置退出的方式被支承的摆动杆、和形 成在该摆动杆的前端且直径小于上述第1光圈的直径的第2光 圈；

设有可转动地连结上述各光圈机构的摆动杆的基端、且使 该摆动杆以摆动支点为中心摆动的数值孔径切换操作部；

上述倍率切换操作部和上述数值孔径切换操作部以与上述 滑板的滑动方向平行且自滑板向同一方向突出的方式设置在上 述滑板上。

2.一种图像测定装置，其特征在于，

包括权利要求1所述的远心透镜光学系统和连结于上述远 心透镜光学系统的摄像光学系统。

3.一种图像测定装置，其特征在于，

包括权利要求1所述的远心透镜光学系统、将光导入到该 远心透镜光学系统中的照明光学系统、检测由上述倍率切换机 构切换后的倍率的倍率检测部件、检测由上述数值孔径切换操 作部切换后的数值孔径的数值孔径检测部件、连结于上述远心 透镜光学系统的摄像光学系统、和处理由该摄像光学系统获得 的图像信息的图像处理部；

上述图像处理部根据由上述倍率检测部件检测出的倍率及 由上述数值孔径检测部件检测出的数值孔径，进行上述照明光 学系统的照明条件修正、上述变倍透镜组的倍率修正、同轴修 正中的至少1种修正。