[发明专利]扫描头校准系统及其方法

权利要求书

1.一种在用于将激光束定位到工件上的激光加工系统中减小定位误差的方法，包括：

提供校准标记；

提供引导标记，所述引导标记对应于一组设计数据；

将所述校准标记的图像与所述引导标记对正，从而确定出一组视觉补偿因子；

将激光标记的图像与所述引导标记对正，从而确定出一组激光补偿因子；以及

使用所述一组视觉补偿因子及所述一组激光补偿因子对所述一组设计数据进行修正，以将激光束定位到工件上。

2.如权利要求1所述的方法，其中，将所述校准标记的图像与所述引导标记对正的步骤进一步包括：

沿基于所述一组设计数据的第一视觉路径固定视觉组件；

沿所述第一视觉路径通过所述视觉组件获得所述校准标记的图像；

将所述第一视觉路径改变至第二视觉路径，以使所述校准标记的图像与所述引导标记对准，其中，所述第二视觉路径对应于一组修正设计数据；以及

从所述一组设计数据及所述修正数据确定所述一组视觉补偿数据。

3.如权利要求1所述的方法，其中，所述校准标记为第一校准标记，所述第一校准标记对应于一矩形加工场的一边，其中，所述方法进一步包括提供对应于所述矩形加工场的对边、邻边以及拐角区域的多个校准标记。

4.如权利要求3所述的方法，其中，所述引导标记为对应于所述第一校准标记的第一引导标记，其中，所述方法进一步包括提供多个引导标记，所述多个引导标记分别对应于所述多个校准标记中的一个校准标记。

5.如权利要求4所述的方法，其中，将所述多个校准标记中的每一个校准标记与所述多个引导标记中的位于对边处的对应的一个引导标记对正的步骤确定出沿第一方向的第一视觉比例因子和沿第二方向的第二视觉比例因子，所述第二方向大体与所述第一方向正交。

6.如权利要求4所述的方法，进一步包括：

通过将所述多个校准标记中的位于拐角区域处的每一个校准标记与所述多个引导标记中的位于拐角区域处的对应的一个引导标记对正而确定出拐角区域的变形因子。

7.如权利要求4所述的方法，其中，所述多个引导标记在二维扫瞄视觉场之中分布。

8.如权利要求7所述的方法，其中，所述多个引导标记限定了全扫瞄视觉场。

9.如权利要求7所述的方法，其中，所述多个引导标记限定了半扫瞄视觉场。

10.如权利要求1所述的方法，其中，将所述激光标记的图像与所述引导标记对正的步骤进一步包括：

沿基于所述一组设计数据的第一激光路径固定激光组件；

形成所述激光标记；

沿所述第一激光路径获得所述激光标记的图像；

将所述第一激光路径改变至第二激光路径，以使所述激光标记的图像与所述引导标记对准，其中，所述第二激光路径对应于第二组数据；以及

从所述第一组数据及所述第二组数据确定所述一组激光补偿数据。

11.如权利要求10所述的方法，其中，所述激光标记为第一激光标记，所述第一激光标记对应于一矩形加工场的一边，其中，所述方法进一步包括提供对应于所述矩形加工场的对边及邻边的多个激光标记。

12.如权利要求11所述的方法，其中，所述引导标记为对应于所述第一激光标记的第一引导标记，其中，所述方法进一步包括提供多个引导标记，所述多个引导标记分别对应于所述激光标记中的一个激光标记。

13.如权利要求12所述的方法，其中，将所述多个激光标记中的每一个激光标记与所述多个引导标记中的位于对边处的对应的一个引导标记对正的步骤确定出沿第一方向的第一激光比例因子和沿第二方向的第二激光比例因子，所述第二方向大体与所述第一方向正交。

14.一种用于将激光束导向至位于预定位置处的工件上的方法，所述方法包括：

提供限定所述预定位置的一组设计数据；

引入针对所述一组设计数据的一组补偿因子，从而产生一组修正数据；以及

基于所述修正数据将激光束导向至所述工件上。

15.如权利要求14所述的方法，其中，所述一组补偿因子包括一组视觉补偿因子及一组激光补偿因子。