[发明专利]基于接触线移动跟踪控制的高吞吐量刻印

权利要求书

1.一种控制系统，在基板上刻印可聚合的材料期间所述控制系统控制模板与基板之间的接触线的速度以及高度分布，所述控制系统包括：

刻印头，所述刻印头具有多个致动器，能够向模板提供预定大小的力；

卡盘，所述卡盘位于模板附近并且能够向模板提供预定大小的压强，预定大小的力和预定大小的压强对模板提供施加的力和施加的压强，从而产生模板与基板之间的第一接触线速度以及模板与基板之间的第一高度分布；

至少一个力传感器，位于模板与基板之间并且能够对模板提供施加的力和施加的压强的第一信号；以及

控制器，所述控制器与力传感器、致动器和卡盘相连通，所述控制器能够接收来自力传感器的第一信号并且评估该第一信号以向致动器和卡盘提供第二信号，所述第二信号具有经调节过的力和经调节过的压强以提供模板与基板之间的接触线的第二速度以及模板与基板之间的第二高度分布。

2.如权利要求1所述的控制系统，还包括：

与所述控制器相连通的涂敷照相机，所述涂敷照相机向所述控制器提供第一接触线的至少一个图像，所述控制器能够评估所述图像和第一信号以提供经调节过的力和经调节过的压强。

3.如权利要求1所述的控制系统，其特征在于，

涂敷照相机包括与模板重叠的LED阵列，以穿过模板照亮基板。

4.如权利要求3所述的控制系统，其特征在于，

涂敷照相机包括用于提供图像的电荷耦合器件(CCD)。

5.如权利要求2所述的控制系统，其特征在于，

所述控制器能够评估所述图像以提供模板与基板之间的接触线的第二速度。

6.如权利要求2所述的控制系统，其特征在于，

所述控制器能够评估所述图像以提供模板与基板之间的第二高度分布。

7.一种用于在基板的表面上刻印可聚合的材料期间控制模板与基板之间的接触转移和相互符合过程的方法，所述方法包括：

设置模板与基板之间的距离；

通过刻印头向模板施加预定大小的力，所述预定大小的力被确定为提供模板与基板之间的第一接触线速度以及模板与基板之间的第一高度分布；

通过至少一个力传感器确定对模板施加的力；

通过力传感器提供第一信号，所述第一信号包含对模板施加的力；

通过控制器接收第一信号，所述第一信号包含对模板施加的力；

通过控制器确定经调节过的力，以提供模板与基板之间的第二接触线速度以及第二高度分布；

通过控制器提供第二信号，所述第二信号包含经调节过的力；

通过刻印头接收第二信号，所述第二信号包含经调节过的力；

通过刻印头对模板施加经调节过的力。

8.如权利要求8所述的方法，还包括：

通过卡盘向模板施加预定大小的压强，所述预定大小的压强被确定为与预定大小的力一起提供模板与基板之间的第一接触线速度以及模板与基板之间的第一高度分布；

通过至少一个力传感器确定对模板施加的压强；

通过力传感器提供第三信号，所述第三信号包含对模板施加的压强；

通过控制器接收第三信号，所述第三信号包含对模板施加的压强；

通过控制器确定经调节过的压强，以与经调节过的力一起提供模板与基板之间的第二接触线速度以及第二高度分布；

通过控制器提供第四信号，所述第四信号包含经调节过的压强；

通过卡盘接收第四信号，所述第四信号包含经调节过的压强；以及

通过卡盘对模板施加经调节过的压强。

9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，

施加的力以及施加的压强是在相同的信号中提供的。

10.如权利要求8所述的方法，其特征在于，

经调节过的力以及经调节过的压强是在相同的信号中提供的。

11.如权利要求7所述的方法，其特征在于，

通过使用位于模板与基板之间多个位置处的力传感器，确定施加的力和压强。