[发明专利]空气悬浮输送装置的空气吹出构造体和空气吹出单元、以及包含这些部件的空气悬浮输送装置

说明书

技术领域

本发明涉及利用空气使液晶显示器面板用玻璃基板等薄板悬浮从而进行输送的空气悬浮输送装置的空气吹出构造体和空气吹出单元、以及具备这些部件的空气悬浮输送装置。

背景技术

以往，在空气悬浮输送装置的空气吹出构造体中，为了使来自空气悬浮输送装置的空气吹出部(以规定的间隔形成有多个吹出孔)的空气的流速或者流量在整个面上达到均匀，在上壁部件中的吹出孔的下面侧配置有多孔质材料(参照专利文献1、图1、图2)。

该上壁部件具有对不具有刚性和平面度的多孔质材料进行加强和保护的目的。

图11是示出现有的空气悬浮输送装置F中的作为空气室的腔室101、多孔质材料102、以及上壁部件103的配置的示意图。示出通过多孔质材料102的压力损失使腔室101内的压力均匀化，并利用遍及整面均匀地吹出的空气使玻璃基板104均匀地悬浮的状态。

然而，在现有的使用多孔质材料102、上壁部件103的悬浮输送中，存在如下的问题：当玻璃基板104破裂时，如图12所示，破损基板的碎片105的除去和上壁部件103的清扫的维护作业困难。即，在专利文献1中，作为上壁部件103例如使用如下的金属板：该金属板具有能够发挥能够支承被悬浮物的强度的厚度，并且以规定的间隔呈交错状地形成有多个小径、例如1～10mm左右的孔径的空气喷出孔H。因此，如图12所示，在现有的空气悬浮输送装置F中，当除去碎片105时，虽然尝试用扫帚106等清扫工具来清扫碎片105，但是碎片105进入空气吹出孔H中从而难以完全除去。

并且，在该空气悬浮输送装置F中，使玻璃基板的两端部与配置在玻璃基板的两侧的多个输送辊接触从而担负该基板的一部分自重并使输送辊旋转，由此在使该玻璃基板悬浮的状态下进行输送。

但是，通过使玻璃基板悬浮，输送辊所担负的基板的自重极低。因此，在缩短输送时间的情况下，当提高基于该辊的输送速度、或者突然降低输送速度时，在起动或停止时会发生滑动，基板的定位精度下降，因此存在无法提高(上升)基于输送辊的基板输送的加减速度，从而难以缩短输送时间的问题。

[专利文献1]日本特开2004-345744号公报

发明内容

本发明的目的在于，提供一种维护容易的空气悬浮输送装置的空气吹出构造体、具有该空气吹出构造体的空气悬浮输送装置的空气吹出单元、以及包含这些部件的空气悬浮输送装置。

对于本发明的空气悬浮输送装置的空气吹出构造体，在利用空气使薄板悬浮从而进行输送的空气悬浮输送装置的空气吹出构造体中，其特征在于，所述空气吹出构造体由编织丝网和具有多孔性的加强部件构成，所述编织丝网配置在构造体的最上部，所述加强部件配置在该编织丝网的下部。

优选配置在所述编织丝网的下部的加强部件与所述编织丝网接合。

优选所述编织丝网是平纹编织密纹丝网或者斜纹编织密纹丝网。

优选所述加强部件形成为多层构造。

优选对所述加强部件之一使用加强金属。

优选所述编织丝网的织眼的有效开口尺寸为1μm～200μm。

并且，对于本发明的空气悬浮输送装置的空气吹出单元，其特征在于，所述空气吹出单元具备：所述空气悬浮输送装置的空气吹出构造体；吹出腔，其配设在该空气吹出构造体的下方，由固定该空气吹出构造体的周边部的外壁包围；以及轴流式风扇，其将空气送入该吹出腔。

优选在所述吹出腔中具备除去所述空气的灰尘的过滤器。

进一步，对于本发明的空气悬浮输送装置，其特征在于，所述空气悬浮输送装置具备：单元组，其通过排列设置多个所述的空气吹出单元形成；输送辊，其在该单元组的两侧部的位置处沿所述薄板的输送方向排列有多个；驱动单元，其驱动该输送辊；以及抽吸单元，其在所述单元组的两侧端面和该输送辊之间对所述薄板的两端部赋予吸引力。

优选所述抽吸单元具备：空气吸入构造体，其由配置在吸入侧的最上部的编织丝网和配置在该编织丝网的下部的具有多孔性的加强部件构成；抽吸腔，其配设在该空气吸入构造体的下方，由固定该空气吸入构造体的周边部的外壁包围；以及轴流式风扇，其被配置于所述抽吸腔来抽吸空气。

优选在所述轴流式风扇中具备除去所述空气的灰尘的过滤器。

根据本发明，与在最上部使用具有较大的1mm以上的孔的材料的现有的空气吹出构造体相比，配置在最上部的编织丝网形成为织眼的有效开口尺寸极小的构造，因此除去清扫玻璃基板碎片时的维护作业变得容易。